SEMI E122 - TSEM(테스터 장비 특정 장비 모델) 사양 -

Abstract

이 표준은 정보 및 제어 글로벌 기술 위원회에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 에디션은 2016년 8월 31일 글로벌 감사 및 검토 소위원회에서 출판 승인을 받았습니다. 2017년 2월 www.semiviews.org 및 www.semi.org에서 제공됩니다. 원래 2003년 3월에 출판되었습니다. 이전에 게시된 2009년 11월.

알림: 이 표준은 2003년 3월(0303) 출판 주기를 기준으로 출판에서 제외된 SEMI E30.3을 대체합니다.

이 문서는 테스트 장비(TSEM)에 대한 특정 장비 모델을 설정합니다. TSEM은 이 등급의 장비에 적용되는 장비 특성 및 동작으로 구성됩니다. 이러한 특성과 동작을 구현해야 합니다. 이 문서의 목적은 테스트 장비를 자동화된 반도체 공장에 쉽게 통합하는 것입니다. 이 문서는 공장 자동화 컨트롤러에서 볼 수 있는 테스트 장비의 작동 모델을 정의하여 이를 수행합니다. 이 정의는 표준 호스트 인터페이스 및 장비 작동 동작을 제공합니다.

이 문서는 호스트 통신 링크를 통해 장비의 보기를 정의하지만 장비의 내부 작동을 정의하지는 않습니다. 여기에는 이 클래스의 모든 장비 동작에 대한 기반으로 특정 처리 상태 모델이 포함됩니다.

이 문서는 처리 상태 모델, 수집 이벤트, 알람 문서화, 원격 명령, 변수 항목 및 프로세스 프로그램 관리 영역에서 테스트 장비 요구 사항 및 기능을 확장합니다.

하위 표준:

SEMI E122.1-0703(재승인 1109) — TSEM(테스터 특정 장비 모델)용 SECS-II 프로토콜 사양

참조된 SEMI 표준

SEMI E5 — SEMI 장비 통신 표준 2 메시지 내용(SECS-II)
SEMI E30 — 제조 장비(GEM)의 통신 및 제어를 위한 일반 모델
SEMI E37 — 고속 SECS 메시지 서비스(HSMS) 일반 서비스
SEMI E37.1 - 고속 SECS 메시지 서비스 단일 선택 세션 모드(HSMS-SS)

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