SEMI E125 - 장비 자체 설명(EqSD) 사양 -

Abstract

이 사양은 장비 공급업체가 장비에서 사용할 수 있는 변수, 이벤트, 예외 및 물리적 장비 구성에 대한 설명을 제공할 수 있는 방법을 설명합니다. 소프트웨어 시스템에서 사용할 수 있는 이 정보를 통해 장비를 공장의 자동화 시스템에 통합하는 프로세스를 지원하는 도구로 사용할 수 있습니다.

이 표준은 공급업체가 장비에서 제공하는 필수 데이터, 이벤트 및 예외를 설명하는 데 사용하는 클래스를 지정합니다. 이 사양은 본질적으로 정적 정보(즉, 장비가 실행되는 동안 동적으로 변경되지 않는 정보)만을 설명합니다. 이 표준은 또한 클라이언트 세션이 이 정보에 액세스하는 데 사용할 수 있는 인터페이스를 지정합니다.

이 사양은 데이터 수집 관리를 위한 SEMI 사양에 정의된 데이터 수집 인터페이스를 지원하는 모든 반도체 제조 장비에 적용됩니다.
이 사양은 장비 구성, 인터페이스 및 사용 가능한 데이터를 설명하는 정보를 검색하고 이 정보를 최신 상태로 유지하는 데 필요한 것 외에 장비에 필요한 새로운 동작을 정의하지 않습니다.

메타데이터로 설명할 수 있는 기본 개념 및 동작 모델(예: 캐리어 관리, 프로세스/제어 작업 등)의 세부 사항은 해당 개념 전용 문서에 별도로 지정됩니다. 공급자가 그러한 개념을 구현했고 클라이언트 세션이 이 구현 및 생성할 수 있는 모든 데이터를 발견할 수 있다는 사실을 설명하는 기능만이 이 사양의 범위에 있습니다.

이 사양은 장비가 제공하는 메타데이터를 사람이 직접 읽을 수 있도록 요구하지 않습니다. 최종 사용자가 소화하기 쉬운 형식으로 인간 사용자에게 이 정보를 구성하고 제공하도록 응용 프로그램이 작성될 것으로 예상됩니다.

하위 표준(포함)
SEMI E125.1-0414 — EqSD(장비 자체 설명)에 대한 비누 결합 사양
SEMI E125.2-1022 — EqSD(장비 자체 설명)용 프로토콜 버퍼 사양

참조 SEMI 표준 (별도 구매)
SEMI E30 — 제조 장비(GEM)의 통신 및 제어를 위한 일반 모델 사양
SEMI E39 — 개체 서비스 사양: 개념, 동작 및 서비스
SEMI E120 — 공통 장비 모델(CEM) 사양
SEMI E132 — 장비 클라이언트 인증 및 승인 사양
SEMI E134 — 데이터 수집 관리 사양

개정 내역
SEMI E125-1022(기술 개정)
SEMI E125-0414(기술 개정)
SEMI E125-0710(기술 개정)
SEMI E125-0310(기술 개정)
SEMI E125-0709(기술 개정)
SEMI E125-0308(지정 업데이트)
SEMI E125-0307(기술 개정)
SEMI E125-0306(기술 개정)
SEMI E125-1105(기술 개정)
SEMI E125-0305(지정 업데이트)
SEMI E125-1104(기술 개정)
SEMI E125-0704(기술 개정)
SEMI E125-0304(기술 개정)
SEMI E125-0703(최초 공개)

SEMI E125.1-0414(기술 개정)
SEMI E125.1-0710(기술 개정)
SEMI E125.1-0310(기술 개정)
SEMI E125.1-0709(기술 개정)
SEMI E125.1-0308(기술 개정)
SEMI E125.1-1107(기술 개정)
SEMI E125.1-0307(기술 개정)
SEMI E125.1-1105(기술 개정)
SEMI E125.1-0305(최초 발행)

SEMI E125.2-1022(최초 발행)

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