SEMI E117 - 레티클 로드 포트 사양 -

Abstract

이 표준은 Physical Interfaces & Carriers Global Technical Committee에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 에디션은 2016년 8월 31일 글로벌 감사 및 검토 소위원회에서 출판 승인을 받았습니다. 2017년 1월 www.semiviews.org 및 www.semi.org에서 볼 수 있습니다. 원래 2002년 11월에 출판되었습니다. 이전에 2016년 8월에 게시되었습니다.

이 사양은 레티클 스토커, 리소그래피 노광 장비 및 레티클 검사 장비의 레티클 로드 포트의 치수 요구 사항 및 옵션을 정의합니다. 자동화된 RSP 운송 시스템의 사용을 용이하게 하고 수동으로 로드되는 장비에 대한 인체공학적 요구 사항을 충족하기 위해 장비와 공장 간의 균일한 물리적 인터페이스를 촉진하기 위한 것입니다.

이 표준은 SEMI E100, SEMI E111 및 SEMI E112에 지정된 레티클 SMIF 포드(RSP)용 로드 포트만 다룹니다. 웨이퍼용 로드 포트를 포함하는 유사한 요구 사항 및 옵션은 SEMI E15(200mm 이하 웨이퍼용) 및 SEMI E15.1(300mm 웨이퍼용)에서 다룹니다.

참조된 SEMI 표준

SEMI E15 — 공구 로드 포트 사양
SEMI E15.1 — 300mm 공구 로드 포트 사양
SEMI E19.3 — 표준 기계 인터페이스(SMIF), 150mm(6인치) 포트 사양
SEMI E19.4 - 200mm SMIF(표준 기계 인터페이스)
SEMI E72 — 300mm 장비 설치 공간, 높이 및 무게에 대한 사양 및 가이드
SEMI E100 — 6인치 또는 230mm 레티클을 운반 및 보관하는 데 사용되는 레티클 SMIF 포드(RSP) 사양
SEMI E111 — 6인치 레티클을 운반 및 보관하는 데 사용되는 150mm 레티클 SMIF 포드(RSP150)의 기계적 사양
SEMI E112 — 6인치 레티클을 운반 및 보관하는 데 사용되는 150mm 다중 레티클 SMIF 포드(MRSP150)의 기계적 사양

Refund Policy: Due to the nature of our products, SEMI has a no refund/no exchange policy. Please make sure that you have reviewed your order prior to finalizing your purchase. All sales are final.