SEMI E120 - 공통 장비 모델(CEM) 사양 -

Abstract

알림: SEMI E120 지정은 SEMI E120.2 생성을 반영하기 위해 0922 게시 주기 동안 업데이트되었습니다.

본 명세서의 목적 은 일반적으로 적용 가능한 반도체 장비 구조 및 관련 요소의 객체 모델을 제공하는 것이다. 이 개체 모델은 다음과 같은 방식으로 사용됩니다.

• 공장 호스트에게 장비의 외부 보기를 표시하는 방법에 대한 장비 공급업체 지침.
• 다른 SEMI 장비 통신 표준에서 사용 및 확장되는 기본 모델입니다.
• XML 스키마와 같은 기술별 개체 모델 정의 생성을 위한 참조로 사용됩니다.

이 사양은 장비 제조업체가 장비 구조 및 관련 요소를 모델링하는 데 사용할 수 있는 공통 구성 세트를 제공합니다.

이 사양은 사용 가능한 통신 인터페이스를 통해 공장 호스트 응용 프로그램에서 볼 때 장비 구조의 모델에 적합한 클래스, 속성, 관계 및 기타 세부 사항을 정의합니다.

이 사양에 포함된 모델은 둘 이상의(현재 또는 미래) 장비 통신 표준에 필요한 것으로 간주되는 장비 구조의 기능을 문서화합니다.

하위 표준(포함)

SEMI E120.1-0414 - 공통 장비 모델(CEM)용 XML 스키마
SEMI E120.2-0922 - 공통 장비 모델(CEM)용 프로토콜 버퍼 사양

참조 SEMI 표준 (별도 구매)
SEMI E121 — 반도체 제조 애플리케이션을 위한 XML의 스타일 및 사용에 대한 가이드

개정 내역
SEMI E120-0922(지정 업데이트)
SEMI E120-0414(기술 개정)
SEMI E120-0310(기술 개정)
SEMI E120-1108(기술 개정)
SEMI E120-0706(기술 개정)
SEMI E120-0705E(편집 개정)
SEMI E120-1104E(편집 개정)
SEMI E120-0704(기술 개정)
SEMI E120-0304(기술 개정)
SEMI E120-0703(기술 개정)
SEMI E120-0303(최초 공개)

SEMI E120.1-0414(기술 개정)
SEMI E120.1-0310(기술 개정)
SEMI E120.1-1108(기술 개정)
SEMI E120.1-0706(기술 개정)
SEMI E120.1-0705(기술 개정)
SEMI E120.1-1104(기술 개정)
SEMI E120.1-0704(최초 발행)

SEMI E120.2-0922(최초 발행)

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