SEMI E127 - 통합 측정 모듈 통신 사양: IMMC(개념, 동작 및 서비스) -

Abstract

이 표준은 글로벌 정보 및 제어 위원회에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 에디션은 2007년 12월 20일에 글로벌 감사 및 리뷰 소위원회의 출판 승인을 받았습니다. 2008년 2월에 www.semi.org에서 사용할 수 있었습니다. 원래는 2003년 7월에 출판되었습니다. 이전에 게시된 2007년 11월.

통합 측정(도량형 또는 검사)의 목적은 측정 데이터에 대한 신속한 액세스를 통해 장비 내 프로세스 모니터링을 용이하게 하고, 프로세스와 측정 장비 간의 자재 취급을 줄이고, 처리량 감소를 최소화하거나 전혀 없이 프로세스 모니터링을 증가시킬 수 있는 기회를 제공하는 것입니다. 또한 통합 측정의 이점을 통해 Advanced Process Control 시스템은 감소된 피드백 지연 시간으로 결과를 사용할 수 있습니다. IMMC 사양의 목적은 통합 측정 모듈과 제어 및 데이터 포트 사이의 표준 인터페이스와 함께 통합 측정 모듈의 개체 기반 사양을 제공하는 것입니다. 인터페이스를 통해 특정 개체의 속성 및 서비스에 액세스할 수 있습니다. 이것은 모듈을 더 큰 시스템으로 통합하는 데 필요한 노력을 용이하게 합니다. 이 표준의 추가 목적은 온라인 서비스와 인터페이스 문서의 조합을 통해 IMMC 호환 통합 측정 모듈이 모듈이나 장비에서 소프트웨어 변경 없이 다중 모듈 장비와 통합될 수 있는 충분한 정보를 제공하는 것입니다. . 이를 위해서는 특정 옵션이 모듈 공급업체에 남아 있는 장비 사용자 인터페이스를 통해 최종 사용자가 구성을 변경해야 할 수 있습니다.

하위 표준:

SEMI E127.1-0308 - 통합 측정 모듈 통신(IMMC)용 SECS-II 프로토콜 사양

SEMI E5 — SEMI 장비 통신 표준 2 메시지 내용(SECS-II)
SEMI E30 — 제조 장비(GEM)의 통신 및 제어를 위한 일반 모델
SEMI E30.5 — 계측 특정 장비 모델(MSEM) 사양
SEMI E32 — 자재 이동 관리(MMM)
SEMI E39 — 개체 서비스 표준: 개념, 동작 및 서비스
SEMI E39.1 — 개체 서비스 표준(OSS)용 SECS-II 프로토콜
SEMI E40 — 공정 관리 표준
SEMI E41 — 예외 관리(EM) 표준
SEMI E42 — 레시피 관리 표준: 개념, 동작 및 메시지 서비스
SEMI E53 — 이벤트 보고
SEMI E58 — ARAMS(Automated Reliability, Availability, and Maintenanceability Standard): 개념, 동작 및 서비스
SEMI E90 — 기판 추적 사양
SEMI E90.1 — SECS-II 프로토콜 기판 추적을 위한 임시 사양
SEMI E98 — 개체 기반 장비 모델(OBEM)에 대한 임시 표준
SEMI E116 — 장비 성능 추적을 위한 임시 사양
SEMI E120 — 공통 장비 모델(CEM)에 대한 임시 사양
SEMI E148 — 시계 개체의 시간 동기화 및 정의에 대한 사양
SEMI M20 — 웨이퍼 좌표계 설정을 위한 사양

Interested in purchasing additional SEMI Standards? Consider SEMIViews, an online portal with access to over 1000 Standards.

Refund Policy: Due to the nature of our products, SEMI has a no refund/no exchange policy. Please make sure that you have reviewed your order prior to finalizing your purchase. All sales are final.