SEMI E115 - 반도체 처리 장비 RF 전력 전달 시스템에 사용되는 정합 네트워크의 부하 임피던스 및 효율성을 결정하기 위한 테스트 방법 -

Name: E11500 - SEMI E115 - 반도체 처리 장비 RF 전력 전달 시스템에 사용되는 정합 네트워크의 부하 임피던스 및 효율성을 결정하기 위한 테스트 방법
Brand: semi.org
SKU: 3731
Price: 243000.0 KRW
Availability: InStock

Member Price: ₩113

Non-Member Price: ₩243,000

Volume(s): Equipment Automation Hardware
Language: English
Type: Single Standards Download (.pdf)
SEMI Standards Copyright Policy/License Agreements

개정:

SEMI E115-0302E(0816 재승인) - 현재

품목 옵션

Abstract

이 표준은 Metrics Global Technical Committee에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 에디션은 2016년 5월 11일 글로벌 감사 및 검토 소위원회에서 출판 승인을 받았습니다. 2016년 8월 www.semiviews.org 및 www.semi.org에서 제공됩니다. 원래 2002년 3월에 출판되었습니다. 이전에 2009년 3월에 게시되었습니다.

이 문서의 목적은 반도체 처리 장비용 RF 전력 전달 시스템에 사용되는 매칭 네트워크의 부하 임피던스와 효율성을 결정하는 데 사용되는 테스트 방법을 정의하는 것입니다.

이 문서는 매칭 네트워크에서 튜닝 요소의 위치에 따라 매칭 네트워크의 부하 임피던스 및 전력 효율을 결정하는 데 필요한 테스트 절차 및 테스트 장비를 지정합니다.

이 테스트 방법의 주요 초점은 다음 도구 유형을 포함하되 이에 국한되지 않는 반도체 처리 장비입니다.

건식 에칭 장비,

필름 증착 장비(CVD 및 PVD).

이 표준은 RF 방출 또는 전기 규정(예: Underwriter's Laboratory, Inc.(UL), National Electrical Code(NEC â ), Federal Communications Commission(FCC))과 관련된 안전 또는 성능 문제를 다루지 않습니다. 이 유형의 장비에 적용되는 해당 지역 규정 및 규정을 준수하는 것은 이 표준 사용자의 책임이며, 그 중 일부는 참조 문서에서 다룹니다.

참조된 SEMI 표준

SEMI E113 — 반도체 처리 장비 RF 전력 공급 시스템 사양

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