SEMI E118 - 웨이퍼 ID 판독기 통신 인터페이스 사양 - 웨이퍼 ID 판독기 기능 표준: 개념, 동작 및 서비스 -

Abstract

이 사양은 글로벌 Information & Control Committee에서 기술적으로 승인되었으며 Japan Information & Control Committee의 직접적인 책임입니다. 2002년 7월 19일 일본 지역 표준 위원회에서 승인된 최신판. 2002년 10월 www.semi.org에서 처음 사용 가능; 2002년 11월 출간 예정.

E 이 표준은 그림 R2-1의 오류를 수정하기 위해 2005년 2월 편집상 수정되었습니다.

알림: SEMI E118 지정은 SEMI E118.1 생성을 반영하기 위해 1104 게시 주기 동안 업데이트되었습니다.

웨이퍼 ID 판독기 기능 표준의 목적은 웨이퍼 ID 판독기가 업스트림 컨트롤러에 제공하는 개념, 동작 및 서비스(기능)에 대한 공통 사양을 제공하는 것입니다. 표준 인터페이스는 Wafer ID 판독기의 상호 교환 가능성을 높여 사용자와 장비 공급업체가 더 폭넓은 선택을 할 수 있도록 합니다.

하위 표준:

SEMI E118.1-1104 - 웨이퍼 ID 판독기 통신 인터페이스 표준용 SECS-I 및 SECS-II 프로토콜 사양

SEMI E4 — SEMI 장비 통신 표준 1 메시지 전송(SECS-I)
SEMI E5 — SEMI 장비 통신 표준 2 메시지 내용(SECS-II)
SEMI E15 — 공구 로드 포트 사양
SEMI E30 — 제조 장비(GEM)의 통신 및 제어를 위한 일반 모델
SEMI E39 — 개체 서비스 표준: 개념, 동작 및 서비스
SEMI E47.1 — 300mm 웨이퍼를 운송 및 보관하는 데 사용되는 박스 및 포드에 대한 임시 기계적 사양
SEMI E62 — 300mm FIMS(Front-Opening Interface Mechanical Standard)에 대한 임시 사양
SEMI E87 — 캐리어 관리(CMS) 사양
SEMI E90 — 기판 추적 사양
SEMI E99 — 캐리어 ID 리더/라이터 기능 표준: 개념, 동작 및 서비스 사양
SEMI E101 — EFEM 기능 구조 모델에 대한 임시 가이드

SEMI T7 — 2차원 매트릭스 코드 기호를 사용한 양면 연마 웨이퍼의 후면 마킹 사양

Interested in purchasing additional SEMI Standards? Consider SEMIViews, an online portal with access to over 1000 Standards.

Refund Policy: Due to the nature of our products, SEMI has a no refund/no exchange policy. Please make sure that you have reviewed your order prior to finalizing your purchase. All sales are final.