SEMI Standards

SEMI International Standards form the foundation for innovation in the microelectronics industry. The SEMI Standards process has been used to create more than 1,000 industry approved Standards and Safety Guidelines, based on the work of more than 5,000 volunteers in key topics including safety, materials, packaging, traceability and cybersecurity. For 50 years, SEMI Standards have helped reduce manufacturing complexity, which enables customer cost reduction, improved supplier quality, and shorter time-to-market. Each year, more than 1,000 companies purchase and use SEMI Standards to improve manufacturing operations.

Individual SEMI Standards

Individual SEMI Standards are available for immediate download. You may view the abstract of a Standard before purchasing. SEMI Standards currently use PDF file format and are DRM-protected, which requires Adobe Acrobat Reader and the FileOpen Plug-In. Refer to the DRM FAQs for details.


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E14500 - SEMI E145 - XML의 측정 단위 기호 분류
SEMI E145 - XML의 측정 단위 기호 분류 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩291,000
E14600 - SEMI E146 - 실리콘 웨이퍼의 보관 및 운송에 사용되는 미니 환경의 미립자 오염 결정을 위한 테스트 방법
E14700 - SEMI E147 - EDA(장비 데이터 수집) 가이드
SEMI E147 - EDA(장비 데이터 수집) 가이드 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩291,000
E14800 - SEMI E148 - TS-Clock 개체의 시간 동기화 및 정의 사양
SEMI E148 - TS-Clock 개체의 시간 동기화 및 정의 사양 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩291,000
E14900 - SEMI E149 - 제조 장비의 획득 및 사용을 위한 장비 공급업체 제공 문서 가이드
E15000 - SEMI E150 - 장비 교육 모범 사례 가이드
SEMI E150 - 장비 교육 모범 사례 가이드 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩291,000
E15100 - SEMI E151 - 데이터 품질 이해 가이드
SEMI E151 - 데이터 품질 이해 가이드 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩291,000
E15200 - SEMI E152 - 150mm EUVL 레티클용 EUV 포드의 기계적 기능 사양
SEMI E152 - 150mm EUVL 레티클용 EUV 포드의 기계적 기능 사양 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩291,000
E15300 - SEMI E153 - AMHS SEM 사양(AMHS SEM)
SEMI E153 - AMHS SEM 사양(AMHS SEM) 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩291,000
E15400 - SEMI E154 - 450mm 로드 포트의 기계적 기능 사양
SEMI E154 - 450mm 로드 포트의 기계적 기능 사양 정상 가격₩451,000 KRW 할인 가격₩291,000 KRW
E15600 - SEMI E156 - 450mm AMHS(Automated Material Handling Systems) 스토커와 운송 장비 간의 기계적 인터페이스 사양
E15700 - SEMI E157 - 모듈 프로세스 추적 사양E15700 - SEMI E157 - 모듈 프로세스 추적 사양
SEMI E157 - 모듈 프로세스 추적 사양 할인 가격 Member Price : ₩113
E15800 - SEMI E158 - 450mm 웨이퍼(450 FOUP) 및 키네마틱 커플링을 운송 및 보관하는 데 사용되는 Fab 웨이퍼 캐리어의 기계적 특징에 대한 사양
E15900 - SEMI E159 - 450mm 웨이퍼 운송 및 배송에 사용되는 MAC(Multi Application Carrier)의 기계적 기능 사양
E16000 - SEMI E160 - 데이터 품질 통신 사양
SEMI E160 - 데이터 품질 통신 사양 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩291,000
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