SEMI Standards

SEMI International Standards form the foundation for innovation in the microelectronics industry. The SEMI Standards process has been used to create more than 1,000 industry approved Standards and Safety Guidelines, based on the work of more than 5,000 volunteers in key topics including safety, materials, packaging, traceability and cybersecurity. For 50 years, SEMI Standards have helped reduce manufacturing complexity, which enables customer cost reduction, improved supplier quality, and shorter time-to-market. Each year, more than 1,000 companies purchase and use SEMI Standards to improve manufacturing operations.

Individual SEMI Standards

Individual SEMI Standards are available for immediate download. You may view the abstract of the Standard before purchasing. Downloadable Standards are priced at $180 USD and $355 USD each; SEMI Members receive a 25% discount. SEMI Standards currently use PDF file format, which requires Adobe Acrobat Reader for viewing. Search for Standards by using the Search form at the top of the page or browse Current Standards by Volume, Topic, Language and Publishing Cycle below.

E15400 - SEMI E154 - 450mm 로드 포트의 기계적 기능 사양
SEMI E154 - 450mm 로드 포트의 기계적 기능 사양 정상 가격₩424,000 KRW 할인 가격₩240,000 KRW
E15600 - SEMI E156 - 450mm AMHS(Automated Material Handling Systems) 스토커와 운송 장비 간의 기계적 인터페이스 사양
E15700 - SEMI E157 - 모듈 프로세스 추적 사양
SEMI E157 - 모듈 프로세스 추적 사양 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩240,000
E15800 - SEMI E158 - 450mm 웨이퍼(450 FOUP) 및 키네마틱 커플링을 운송 및 보관하는 데 사용되는 Fab 웨이퍼 캐리어의 기계적 특징에 대한 사양
E15900 - SEMI E159 - 450mm 웨이퍼 운송 및 배송에 사용되는 MAC(Multi Application Carrier)의 기계적 기능 사양
E16000 - SEMI E160 - 데이터 품질 통신 사양
SEMI E160 - 데이터 품질 통신 사양 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩240,000
E16100 - SEMI E161 - 교육 계층 식별 및 분류 가이드
SEMI E161 - 교육 계층 식별 및 분류 가이드 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩240,000
E16200 - SEMI E162 - 450mm 전면 개방 배송 상자 로드 포트에 대한 기계적 인터페이스 사양
E16300 - SEMI E163 - 특별히 지정된 영역 내에서 레티클 및 기타 극도로 정전기에 민감한(EES) 항목 취급 가이드
E16400 - SEMI E164 - EDA 공통 메타데이터 사양
SEMI E164 - EDA 공통 메타데이터 사양 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩240,000
E16500 - SEMI E165 - 전용 교육 장비를 사용할 수 없는 경우 종합 장비 교육 시스템 가이드
E16600 - SEMI E166 - 450mm 클러스터 모듈 인터페이스 사양: 기계적 인터페이스 및 전송 표준
E16700 - SEMI E167 - 장비 에너지 절약 모드 통신(EESM) 사양
SEMI E167 - 장비 에너지 절약 모드 통신(EESM) 사양 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩240,000
E16800 - SEMI E168 - 제품 시간 측정 사양
SEMI E168 - 제품 시간 측정 사양 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩240,000
E16900 - SEMI E169 - 장비 정보 시스템 보안 가이드
SEMI E169 - 장비 정보 시스템 보안 가이드 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩240,000
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