SEMI E147 - EDA(장비 데이터 수집) 가이드 -

Abstract

이 표준은 글로벌 정보 및 제어 위원회에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 판은 2006년 11월 21일에 글로벌 감사 및 검토 소위원회의 출판 승인을 받았습니다. 2007년 2월에 www.semi.org에서 볼 수 있었습니다.

 

E 이 표준은 중복 섹션을 제거하기 위해 2007년 9월 편집상 수정되었습니다. § 6이 변경되었습니다.

 

이 가이드 문서는 EDA(Equipment Data Acquisition) SEMI 표준 제품군에 대한 추가 정보를 제공하고 이러한 표준 간의 관계를 설명하며 EDA 사양이 올바르게 적용되도록 구현을 위한 기본 개념을 제시합니다.

참조된 SEMI 표준

SEMI E5 — SEMI 장비 통신 표준 2 메시지 내용(SECS-II)

SEMI E30 — 제조 장비(GEM)의 통신 및 제어를 위한 일반 모델
SEMI E39 — 개체 서비스 표준: 개념, 동작 및 서비스
SEMI E40 — 처리 관리 표준
SEMI E87 — 캐리어 관리(CMS) 사양
SEMI E90 — 기판 추적 사양
SEMI E94 — 제어 작업 관리 사양
SEMI E116 — 장비 성능 추적(EPT) 사양
SEMI E120 — 공통 장비 모델(CEM) 사양

SEMI E125 — 장비 자체 설명(EqSD) 사양
SEMI E132 — 장비 클라이언트 인증 및 승인 사양
SEMI E134 — 데이터 수집 관리(DCM) 사양
SEMI E138 — XML 반도체 공통 구성 요소

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