SEMI E149 - 제조 장비의 획득 및 사용을 위한 장비 공급업체 제공 문서 가이드 -

Abstract

알림: 이 표준 또는 안전 지침은 현재 상태를 유지하기 위한 조건이 충족되지 않았기 때문에 비활성 상태입니다. 비활성 표준 또는 안전 지침은 SEMI에서 제공되며 계속해서 사용할 수 있습니다.

 

알림: '참고:' 단락은 이 표준 또는 안전 지침의 공식 부분이 아니며 공식 표준 또는 안전 지침을 수정하거나 대체하기 위한 것이 아닙니다. 이들은 표준 또는 안전 가이드라인의 사용을 향상시키기 위해 글로벌 기술 위원회에서 제공했습니다.

 

이 표준은 반도체, 평판 디스플레이(FPD) 또는 기타 관련 제조 장비의 구입 및 사용을 위해 장비 공급자가 장비 구매자에게 제공하는 문서의 내용 및 유용성에 대한 권장 사항을 제시합니다. 이 표준은 장비 공급업체와 구매자 간의 보다 효과적인 장비 획득(예: 구매, 임대) 계약을 지원합니다. 완전한 문서는 구매자의 장비 획득, 설치, 사용, 유지 관리 및 수리 능력을 향상시켜 생산성을 높이고 비용을 절감할 수 있습니다.

이 표준은 장비 구입, 설치, 운영, 유지 보수, 수리 및 폐기 측면을 다루기 위해 새로운 반도체, FPD 또는 기타 관련 제조 장비 및 공급업체 제공 지원 장비에 대해 장비 공급자가 장비 구매자에게 제공하는 모든 문서에 적용됩니다.

 　

참조된 SEMI 표준

SEMI E5 — SEMI 장비 통신 표준 2 메시지 내용(SECS-II)

SEMI E6 — 반도체 장비 설치 문서 가이드

SEMI E10 — 장비 신뢰성, 가용성, 유지보수성(RAM) 및 활용도의 정의 및 측정을 위한 사양

SEMI E30 — 제조 장비(GEM)의 통신 및 제어를 위한 일반 모델

SEMI E33 - 반도체 제조 전자파 적합성(EMC) 가이드

SEMI E36 — 반도체 장비 제조 정보 태깅 사양

SEMI E70 - 도구 수용 프로세스 가이드

SEMI E72 — 300mm 장비 설치 공간, 높이 및 무게에 대한 사양 및 가이드

SEMI E76 - 300mm 공정 장비에 대한 가이드 시설 서비스에 대한 연결 지점

SEMI E137 — 반도체 제조 장비의 최종 조립, 포장, 운송, 포장 풀기 및 재배치 가이드

SEMI E139 - 레시피 및 매개변수 관리(RaP) 사양

SEMI E150 — 장비 교육 모범 사례 가이드

SEMI S2 — 반도체 제조 장비에 대한 환경, 건강 및 안전 가이드라인

SEMI S8 — 반도체 제조 장비의 인체 공학 공학을 위한 안전 가이드라인

SEMI S13 — 반도체 제조 장비와 함께 사용하기 위해 장비 사용자에게 제공되는 문서에 대한 환경, 건강 및 안전 지침

SEMI S16 — 수명 종료 시 환경 영향 감소를 위한 반도체 제조 장비 설계 가이드

SEMI S23 — 반도체 제조 장비에서 사용되는 에너지, 유틸리티 및 재료 절약을 위한 가이드

 

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