SEMI Standards

SEMI International Standards form the foundation for innovation in the microelectronics industry. The SEMI Standards process has been used to create more than 1,000 industry approved Standards and Safety Guidelines, based on the work of more than 5,000 volunteers in key topics including safety, materials, packaging, traceability and cybersecurity. For 50 years, SEMI Standards have helped reduce manufacturing complexity, which enables customer cost reduction, improved supplier quality, and shorter time-to-market. Each year, more than 1,000 companies purchase and use SEMI Standards to improve manufacturing operations.

Individual SEMI Standards

Individual SEMI Standards are available for immediate download. You may view the abstract of the Standard before purchasing. Downloadable Standards are priced at $180 USD and $355 USD each; SEMI Members receive a 25% discount. SEMI Standards currently use PDF file format, which requires Adobe Acrobat Reader for viewing. Search for Standards by using the Search form at the top of the page or browse Current Standards by Volume, Topic, Language and Publishing Cycle below.

E18500 - SEMI E185 - 300mm 테이프 프레임 FOUP 사양
SEMI E185 - 300mm 테이프 프레임 FOUP 사양 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩240,000
E18600 - SEMI E186 - 질량 흐름 컨트롤러 및 질량 흐름 미터의 전원 커넥터 및 Ethercat 포트의 위치 및 치수 사양
E18700 - SEMI E187 - Fab 장비의 사이버 보안 사양
SEMI E187 - Fab 장비의 사이버 보안 사양 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩473,000
E18800 - SEMI E188 - Specification for Malware Free Equipment Integration
SEMI E188 - Specification for Malware Free Equipment Integration 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩473,000
F00100 - SEMI F1 - 고순도 가스 배관 시스템 및 부품의 누출 무결성에 대한 사양
SEMI F1 - 고순도 가스 배관 시스템 및 부품의 누출 무결성에 대한 사양 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩240,000
F00100 - SEMI F2 - 범용 반도체 제조 응용 분야를 위한 316L 스테인리스 스틸 튜빙 사양
F00100 - SEMI F3 - 반도체 제조용 스테인리스 스틸 튜브 용접용 가이드
SEMI F3 - 반도체 제조용 스테인리스 스틸 튜브 용접용 가이드 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩240,000
F00400 - SEMI F4 - 공압 작동 실린더 밸브 사양
SEMI F4 - 공압 작동 실린더 밸브 사양 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩240,000
F00500 - SEMI F5 - Guide for Gaseous Effluent Handling
SEMI F5 - Guide for Gaseous Effluent Handling 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩240,000
F00600 - SEMI F6 - 유해 가스 배관 시스템의 2차 격납용 가이드
SEMI F6 - 유해 가스 배관 시스템의 2차 격납용 가이드 정상 가격₩423,000 KRW 할인 가격₩240,000 KRW
F00700 - SEMI F7 - 탄화플루오르 재료로 만든 튜브 피팅 연결부의 인장 강도를 결정하는 테스트 방법
F00800 - SEMI F8 - 인장력을 받을 때 탄화플루오르 재료로 만든 튜브 피팅 연결부의 밀봉 기능을 평가하기 위한 테스트 방법
F00900 - SEMI F9 - 측면 하중 조건이 적용될 때 탄화플루오르 재료로 만든 튜브 피팅 연결부의 누출 특성을 결정하는 테스트 방법
F01000 - SEMI F10 - 탄화플루오르 재질로 된 튜브 피팅 연결부의 고장을 일으키는 데 필요한 내부 압력을 결정하는 테스트 방법
F01100 - SEMI F11 - 탄화플루오르 재료로 만든 튜브 피팅 연결부의 열적 특성 표시를 얻기 위한 테스트 방법
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