SEMI Standards

SEMI International Standards form the foundation for innovation in the microelectronics industry. The SEMI Standards process has been used to create more than 1,000 industry approved Standards and Safety Guidelines, based on the work of more than 5,000 volunteers in key topics including safety, materials, packaging, traceability and cybersecurity. For 50 years, SEMI Standards have helped reduce manufacturing complexity, which enables customer cost reduction, improved supplier quality, and shorter time-to-market. Each year, more than 1,000 companies purchase and use SEMI Standards to improve manufacturing operations.

Individual SEMI Standards

Individual SEMI Standards are available for immediate download. You may view the abstract of the Standard before purchasing. Downloadable Standards are priced at $180 USD and $355 USD each; SEMI Members receive a 25% discount. SEMI Standards currently use PDF file format, which requires Adobe Acrobat Reader for viewing. Search for Standards by using the Search form at the top of the page or browse Current Standards by Volume, Topic, Language and Publishing Cycle below.

F01200 - SEMI F12 - Test Method to Determine the Sealing Capabilities of Fittings, Made of Fluorocarbon Material, after Being Subjected to a Heat Cycle
F01300 - SEMI F13 - 가스 소스 제어 장비용 가이드
SEMI F13 - 가스 소스 제어 장비용 가이드 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩240,000
F01400 - SEMI F14 - 가스 소스 장비 인클로저 설계 가이드
SEMI F14 - 가스 소스 장비 인클로저 설계 가이드 정상 가격₩423,000 KRW 할인 가격₩240,000 KRW
F01500 - SEMI F15 - 육불화황 추적 가스 및 가스 크로마토그래피를 사용한 인클로저 테스트 방법
F01800 - SEMI F18 - Guide for Determining the Hydrostatic Strength of, and Design Basis for, Thermoplastic Pipe and Tubing
F01900 - SEMI F19 - 스테인리스 스틸 부품의 젖은 표면의 표면 상태에 대한 사양
SEMI F19 - 스테인리스 스틸 부품의 젖은 표면의 표면 상태에 대한 사양 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩240,000
F02000 - SEMI F20 - Specification for 316L Stainless Steel Bar, Forgings, Extruded Shapes, Plate, and Tubing for Components Used in General Purpose, High Purity and Ultra-High Purity Semiconductor Manufacturing Applications - SEMI Dev 2
F02100 - SEMI F21 - 청정 환경에서 공기 중 분자 오염 물질 수준의 분류
SEMI F21 - 청정 환경에서 공기 중 분자 오염 물질 수준의 분류 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩240,000
F02200 - SEMI F22 - 벌크 및 특수 가스 분배 시스템 가이드
SEMI F22 - 벌크 및 특수 가스 분배 시스템 가이드 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩240,000
F02300 - SEMI F23 - 등급 10/0.2 수소의 입자 농도 사양
SEMI F23 - 등급 10/0.2 수소의 입자 농도 사양 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩240,000
F02400 - SEMI F24 - 등급 10/0.2 불활성 특수 가스의 입자 농도 사양
SEMI F24 - 등급 10/0.2 불활성 특수 가스의 입자 농도 사양 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩240,000
F02500 - SEMI F25 - 등급 10/0.2 산화제 특수 가스의 입자 농도 사양
SEMI F25 - 등급 10/0.2 산화제 특수 가스의 입자 농도 사양 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩240,000
F02600 - SEMI F26 - 등급 10/0.2 독성 특수 가스의 입자 농도 사양
SEMI F26 - 등급 10/0.2 독성 특수 가스의 입자 농도 사양 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩240,000
F02700 - SEMI F27 - 대기압 이온화 질량 분석법(APIMS)에 의한 가스 분배 시스템 및 구성 요소의 수분 상호 작용 및 함량에 대한 테스트 방법
F02800 - SEMI F28 - 프로세스 패널에서 입자 생성을 측정하기 위한 테스트 방법
SEMI F28 - 프로세스 패널에서 입자 생성을 측정하기 위한 테스트 방법 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩240,000
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