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SEMI F6 - 유해 가스 배관 시스템의 2차 격납용 가이드 -
Volume(s):
Facilities
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
이 문서의 목적은 유해 생산 물질(HPM) 가스에 대해 2차로 포함된 분배 배관의 설계, 제조 및 작동에 대한 지침을 제공하는 것입니다.
이 안내서는 통일 건축법의 H-6 분류, 통일 화재법의 51조 또는 80조 또는 기타 적용 가능한 지역 규정에 포함된 산업 분야의 유해 생산 물질 분배 배관에 대한 일반 요구 사항을 다룹니다. 이 가이드에는 개별 배기 인클로저(예: 밸브 박스 및 가스 캐비닛)에 대한 요구 사항이 포함되어 있지 않습니다.
참조된 SEMI 표준 SEMI F1 — 독성 가스 배관 시스템의 누출 무결성에 대한 사양
SEMI F2 — 반도체 제조 응용 분야를 위한 이음새가 없는 오스테나이트계 스테인리스 강관 사양
SEMI F3 — 반도체 제조용 스테인리스강 배관 용접 가이드
SEMI S2 — 반도체 제조 장비에 대한 안전 가이드라인
SEMI S4 — 캐비닛에 포함된 가스 실린더의 분리/분리에 대한 안전 지침
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