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SEMI F2 - 범용 반도체 제조 응용 분야를 위한 316L 스테인리스 스틸 튜빙 사양 -
Volume(s):
Facilities
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
알림: 이 문서는 2003년에 투표를 거쳐 철회 승인을 받았습니다.
이 사양의 목적은 적용 가능한 ASTM 튜빙 사양 요구 사항을 식별하고 반도체 제조 시설에서 범용 용도로 사용되는 316L 스테인리스 스틸 튜빙에 대한 특수 재료 화학 조성 요구 사항을 정의하는 것입니다.
이 사양은 ASTM A269의 표 1에 지정된 대로 반도체 제조 시설 및 유사한 연구 및 개발 분야의 화학 물질(기체 또는 액체) 분배 시스템에 사용하기 위한 공칭 벽 두께 스테인리스 강관의 등급을 다룹니다.
참조 SEMI 표준 (별도 구매)
없음.
개정 내역
SEMI F2-94(0703 철회)(SEMI F20-0704와 결합)
SEMI F2-94(기술 개정판)
SEMI F2-94(최초 공개)
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