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SEMI F3 - 반도체 제조용 스테인리스 스틸 튜브 용접용 가이드 -
Abstract
알림: 이 문서는 2003년에 투표를 거쳐 철회 승인을 받았습니다.
이 가이드의 목적은 스테인리스강 가스 분배 시스템 용접에 사용 가능한 절차에 대한 사용자의 인식을 높이고 후속 평가 및 표준화를 도출할 수 있는 정보를 제공하는 지침을 제공하는 것입니다.
이 가이드는 스테인리스 스틸 가스 분배 시스템의 용접에 대한 일반 요구 사항을 다룹니다.
참조 SEMI 표준 (별도 구매)
SEMI F2 — 범용 반도체 제조 응용 분야를 위한 316L 스테인리스 강관 사양
개정 내역
SEMI F3-94(1103 철회)
SEMI F3-94(기술 개정판)
SEMI F3-94(최초 공개)
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F00100 - SEMI F3 - 반도체 제조용 스테인리스 스틸 튜브 용접용 가이드
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