E17800 - SEMI E178 - EDA 동결 버전 가이드

SEMI E178 - EDA 동결 버전 가이드 -

Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩290,000

Volume(s): Equipment Automation Software
Language: English

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Type: Single Standards Download (.pdf)

개정: SEMI E178-1125 - Current

개정

Abstract

이 표준은 성공적인 EDA 구현을 위해 SEMI EDA 표준 버전을 결합하기 위한 지침을 제공합니다.


이 표준은 메시지 교환을 위해 웹 서비스를 적용하는 EDA 표준에서 정의된 사양을 적용하는 반도체 제조 장비에 적용됩니다.


참조된 SEMI 표준

두 가구 연립 주택 E120 — 공통 장비 모델(CEM) 사양

SEMI E120.1 - 공통 장비 모델(CEM)을 위한 XML 스키마

SEMI E125 — 장비 자체 설명(EqSD) 사양

SEMI E125.1 — 장비 자체 설명(EqSD)을 위한 SOAP 바인딩 사양

SEMI E128 — XML 메시지 구조 사양

SEMI E132 — 장비 클라이언트 인증 및 승인 사양

SEMI E132.1 — 장비 클라이언트 인증 및 권한 부여(ECA)를 위한 SOAP 바인딩 사양

SEMI E134 — 데이터 수집 관리 사양

SEMI E134.1 — 데이터 수집 관리(DCM)의 SOAP 바인딩 사양

SEMI E138 — XML 반도체 공통 구성 요소

SEMI E145 — XML의 측정 단위 기호 분류

 

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