SEMI E186 - 질량 흐름 컨트롤러 및 질량 흐름 미터의 전원 커넥터 및 Ethercat 포트의 위치 및 치수 사양 -

Abstract

이 표준은 EtherCAT® 통신 프로토콜을 사용하여 질량 유량 컨트롤러(MFC) 및 질량 유량계(MFM)의 위치 및 물리적 치수를 설정합니다.

이 표준은 MFC/MFM에서 사용되는 EtherCAT 전원 및 통신 커넥터의 위치 및 물리적 치수를 설명합니다.

이 표준은 기존 및 표면 장착 가스 전달 시스템 모두에 사용되는 질량 유량 컨트롤러 및 질량 유량계에 적용됩니다.

참조 SEMI 표준 (별도 구매)

없음.

개정 내역

SEMI E186-1121(최초 발행)

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