SEMI E184 - 300mm 테이프 프레임 FOUP 로드 포트 사양 -

Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩246,000

Volume(s): Equipment Automation Hardware
Language: English
Type: Single Standards Download (.pdf)
SEMI Standards Copyright Policy/License Agreements

개정: SEMI E184-1221E - 전류

개정

Abstract


E 이 표준은 참조 오류를 수정하기 위해 2021년 12월 편집상 수정되었습니다. 그림 14가 변경되었습니다.


이 사양의 목적은 300mm 테이프 프레임 FOUP를 로드 및 언로드할 수 있는 반도체 제조 장비(SME)의 로드 포트의 기본 인터페이스 치수를 정의하는 것입니다. 그만큼 이 사양의 의도는 일련의 요구 사항 및 기능을 정의하는 것입니다. 제한 없이 로드 포트와 테이프 프레임 FOUP의 상호 운용성을 가능하게 합니다. 혁신적인 솔루션.


이 표준의 인터페이스 사양은 관련 SEMI 300mm 테이프 프레임 FOUP 표준을 준수하는 테이프 프레임 FOUP에 의해 구동되고 결합하도록 의도되었습니다.

적재 및 하역은 모든 종류의 시스템 또는 장치(예: 사람 안내 차량 또는 오버헤드 호이스트 차량)를 사용하여 반자동 및 자동화 모드에서 발생하는 것으로 가정합니다.

참조 SEMI 표준 (별도 구매)

없음.

개정 내역

SEMI E184-1221E(편집 개정)

SEMI E184-1221(최초 발행)

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