SEMI E179 - 프로토콜 버퍼 공통 구성요소 사양 -

Abstract

이 사양은 단일 표준에 한정되지 않지만 여러 표준에 걸쳐 공통적인 공통 프로토콜 버퍼 요소의 정의를 위한 중앙 위치입니다.

이 사양은 공통 구성 요소로 간주되는 오류, 데이터 유형, 데이터 값 유형, 단위 및 연산자의 표현을 정의합니다. 공통 구성 요소는 프로토콜 버퍼 기반 SEMI 표준 인터페이스 사양의 일부로 생성된 다른 프로토콜 버퍼 문서와 관련하여 사용됩니다.

 

참조 SEMI 표준 (별도 구매)

SEMI E5 — SEMI 장비 통신 표준 2 메시지 내용(SECS-II) 사양
SEMI E125 — 장비 자체 설명(EqSD) 사양
SEMI E132 — 장비 클라이언트 인증 및 승인 사양
SEMI E138 — XML 반도체 공통 구성 요소 사양
SEMI E145 — XML의 측정 단위 기호 분류

 

개정 내역
SEMI E179-0822(기술 개정)
SEMI E179-0322(기술 개정)
SEMI E179-0320(최초 공개)

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