SEMI E185 - 300mm 테이프 프레임 FOUP 사양 -

Abstract

이 사양의 목적은 IC 제조 시설 내에서 SEMI G74 및 SEMI G87에 지정된 대로 300mm 테이프 프레임을 운송 및 보관하는 데 사용되는 테이프 프레임 FOUP의 기본 물리적 치수를 설정하는 것입니다.

이 표준은 테이프 프레임 FOUP의 외부 기능 및 치수를 지정합니다. 이 표준은 테이프 프레임 FOUP에 테이프 프레임을 보관하기 위한 내부 치수를 지정합니다. 이 표준은 엔드 이펙터에 의한 테이프 프레임의 자동 설치 및 추출을 보장하는 영역을 지정합니다. 이 표준은 테이프 프레임 FOUP와 상호 작용하도록 설계된 자동화 도구용 인터페이스의 외부 치수를 지정합니다.

참조 SEMI 표준 (별도 구매)

SEMI E57 — 300mm 웨이퍼 캐리어를 정렬하고 지지하는 데 사용되는 키네마틱 커플링 사양

SEMI G74 — 300mm 웨이퍼용 테이프 프레임 사양

SEMI G87 — 300mm 웨이퍼용 플라스틱 테이프 프레임 사양
 

개정 내역
SEMI E185-1222(기술 개정)
SEMI E185-1221(최초 발행)

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