SEMI E151 - 데이터 품질 이해 가이드 -

Name: E15100 - SEMI E151 - 데이터 품질 이해 가이드
Brand: semi.org
SKU: 3766
Price: 243000.0 KRW
Availability: InStock

Member Price: ₩113

Non-Member Price: ₩243,000

Volume(s): Equipment Automation Software
Language: English
Type: Single Standards Download (.pdf)
SEMI Standards Copyright Policy/License Agreements

개정:

SEMI E151-1211(0517 재승인) - 현재

품목 옵션

Abstract

이 표준은 정보 및 제어 글로벌 기술 위원회에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 에디션은 2016년 12월 8일에 글로벌 감사 및 검토 소위원회의 출판 승인을 받았습니다. 2017년 5월에 www.semiviews.org 및 www.semi.org에서 볼 수 있습니다. 원래 2009년 3월에 출판되었습니다. 이전에 2011년 12월에 게시되었습니다.

이 가이드의 목적은 반도체 장비 생성 데이터의 품질을 다룰 때 사용할 수 있는 일반적인 용어와 정의를 제공하는 것입니다. 생산 장비에서 생성된 데이터의 품질을 지정, 전달, 처리 및 논의하는 데 도움이 되는 일련의 공통 정의를 설정합니다.

이 가이드에는 다음 구성 요소가 포함되어 있습니다.

데이터 품질 및 관련 용어를 이해하기 위한 접근 방식의 배경 및 설명.

참조된 SEMI 표준

SEMI E5 — SEMI 장비 통신 표준 2 메시지 내용(SECS-II)
SEMI E54 — 센서/액추에이터 네트워크 사양
SEMI E120 — 공통 장비 모델(CEM) 사양
SEMI E125 — 장비 자체 설명(EqSD) 사양
SEMI E132 — 장비 클라이언트 인증 및 승인 사양
SEMI E134 — 데이터 수집 관리(DCM) 사양
SEMI E145 — XML의 측정 단위 기호 분류

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