SEMI E156 - 450mm AMHS(Automated Material Handling Systems) 스토커와 운송 장비 간의 기계적 인터페이스 사양 -

Abstract

알림: 이 표준 또는 안전 지침은 현재 상태를 유지하기 위한 조건이 충족되지 않았기 때문에 비활성 상태입니다. 비활성 표준 또는 안전 지침은 SEMI에서 제공되며 계속해서 사용할 수 있습니다.

이 사양의 목적은 AMHS(Automated Material Handling System) 스토커와 다양한 유형의 운송 장비 사이의 인터페이스를 정의하고 450 웨이퍼 캐리어 이송에 필요한 치수를 명확히 하는 것입니다.

이 표준의 사양은 450 mm AMHS 스토커와 450 Wafer Carrier용 운송 장비 사이의 대표적인 핸드오프 인터페이스를 다룹니다.

참조 SEMI 표준 (별도 구매)

SEMI E154 — 450mm 로드 포트의 기계적 기능 사양

SEMI E158 — 450mm 웨이퍼(450 FOUP) 및 키네마틱 커플링을 운송 및 보관하는 데 사용되는 Fab 웨이퍼 캐리어의 기계적 특징에 대한 사양

SEMI E159 — 450mm 웨이퍼 운송 및 배송에 사용되는 MAC(Multi Application Carrier)의 기계적 특징에 대한 사양

SEMI G92 — 450mm 웨이퍼용 테이프 프레임 카세트 사양

SEMI M80 — 450mm 웨이퍼 운송 및 배송에 사용되는 전면 개방 배송 상자 사양

개정 내역

SEMI E156-1115(전체 재작성)

SEMI E156-0710(최초 발행)

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