SEMI E159 - 450mm 웨이퍼 운송 및 배송에 사용되는 MAC(Multi Application Carrier)의 기계적 기능 사양 -

Abstract

이 문서의 목적은 SEMI M74에 명시된 대로 450mm 웨이퍼를 운송 및 선적하는 데 사용되는 캐리어의 기본 물리적 치수를 설정하는 것입니다.

이 문서는 캐리어의 치수에 대한 참조 평면과 캐리어와 상호 작용할 로드 포트 기능을 정의하기 위한 것입니다.

이 문서는 혁신적인 솔루션을 제한하지 않고 로드 포트와 캐리어의 상호 운용성을 보장하기 위한 일련의 요구 사항을 정의하기 위한 것입니다.

이 표준은 450 MAC이 웨이퍼 품질을 유지하고 캐리어의 자동화된 사용을 허용하면서 주로 실리콘 웨이퍼 제조 및 처리된 장치 웨이퍼의 보관 및 배송에 사용된다고 가정합니다. 자동화된 방법을 사용하여 MAC에서 450 FOUP로, 450 FOUP에서 MAC으로 웨이퍼를 이송하는 것이 좋습니다.

이 문서는 450mm 캐리어의 외부 기능 및 치수를 지정합니다.

이 문서는 450mm 캐리어에서 웨이퍼를 지지하고 구속하기 위한 내부 배제 용적을 지정합니다.

이 문서는 450mm 캐리어를 지지하고 배치할 키네마틱 핀의 중요한 치수와 위치를 지정합니다.

이 문서는 캐리어 치수에 대한 참조로 3개의 직교 참조 평면을 정의합니다.

참조 SEMI 표준 (별도 구매)

SEMI E1.9 — 300mm 웨이퍼를 운반하고 보관하는 데 사용되는 카세트의 기계적 사양

SEMI E30.1 — ISEM(특정 장비 모델 검토 및 검사 사양)

SEMI E144 — 캐리어의 RFID 태그와 반도체 생산 및 자재 취급 장비의 RFID 판독기 사이의 RF 에어 인터페이스 사양

SEMI E154 — 450mm 로드 포트의 기계적 기능 사양

SEMI M74 — 450mm 직경의 기계적 취급 광택 웨이퍼 사양

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