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SEMI E145 - XML의 측정 단위 기호 분류 -
Abstract
현재 SEMI 표준에 XML(eXtensible Markup Language) 표기법이 포함된 것은 XML 기술에 대한 업계의 관심이 높아지고 있음을 반영합니다. 이 표준은 SEMI E5, SEMI E6 및 SI(International System of Units)에 정의된 단위를 기반으로 반도체 산업을 위한 XML의 측정 단위 기호 표현을 정의합니다. 그 목적은 반도체 산업의 공통 단위를 나타내는 표준화된 기호 세트를 제공하는 것입니다. 를 사용하여 표준 접근 방식을 기반으로 다른 기호를 추가하는 방법을 설명합니다. 공통 규칙 세트.이 표준은 측정 단위 기호를 정의하고 이 분류에 포함되지 않은 단위에 대해 더 많은 기호를 추가하는 일반적인 방법을 설명합니다. 다른 객체와 함께 사용할 단위 객체 표현을 정의하고 XML 표현을 위한 스키마를 제공합니다. 일반적으로 사용되는 단위와 해당 기호의 일부도 제공됩니다. 이 분류에는 다음이 포함됩니다.
· 단위 개체 정의
· 단위 분류표 정의
· 표준화된 기호의 정의
· 다른 단위 기호 추가 규칙
참조된 SEMI 표준SEMI E5 — SEMI 장비 통신 표준 2 메시지 내용(SECS-II) 사양
SEMI E6 — 가이드
장비 반도체 설치 문서용SEMI E30 — 제조 장비(GEM)의 통신 및 제어를 위한 일반 모델 사양
SEMI E121 — 반도체 제조 애플리케이션을 위한 XML의 스타일 및 사용에 대한 가이드
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E14500 - SEMI E145 - XML의 측정 단위 기호 분류
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