SEMI E154 - 450mm 로드 포트의 기계적 기능 사양 -

Abstract

이 문서의 목적은 450 FOUP 및 450 MAC를 로드 및 언로드할 수 있는 반도체 제조 장비(SME)의 로드 포트의 기본 인터페이스 치수를 정의하는 것입니다. 이 문서의 의도는 혁신적인 솔루션을 제한하지 않고 로드 포트와 캐리어의 상호 운용성을 가능하게 하는 일련의 요구 사항 및 기능을 정의하는 것입니다.

 

이 문서의 인터페이스 사양은 관련 SEMI 450mm FOUP 및 450mm MAC 표준을 준수하는 캐리어에 의해 구동되고 해당 캐리어와 결합하도록 의도되었습니다.

적재 및 하역은 모든 종류의 시스템 또는 장치(예: 사람 안내 차량 또는 오버헤드 호이스트 차량)를 사용하여 반자동 및 자동화 모드에서 발생하는 것으로 가정합니다.

참조 SEMI 표준 (별도 구매)

SEMI E63 — 공구 표준(BOLTS-M) 인터페이스에 대한 300mm 박스 오프너/로더 사양
SEMI E110 - 300mm 로드 포트에 대한 로드 포트 작동 인터페이스의 표시기 배치 영역 및 스위치 배치 볼륨에 대한 지침
SEMI E158 — 450mm 웨이퍼(450 FOUP) 및 키네마틱 커플링을 운송 및 보관하는 데 사용되는 Fab 웨이퍼 캐리어의 기계적 특징에 대한 사양

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