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SEMI E158 - 450mm 웨이퍼(450 FOUP) 및 키네마틱 커플링을 운송 및 보관하는 데 사용되는 Fab 웨이퍼 캐리어의 기계적 특징에 대한 사양 -
Abstract
이 문서의 목적은 반도체 장치 제조 시설 내에서 SEMI M74에 명시된 대로 450mm 웨이퍼를 운송 및 보관하는 데 사용되는 캐리어의 기본 물리적 치수를 설정하는 것입니다.
이 문서는 캐리어의 치수에 대한 참조 평면과 캐리어와 상호 작용할 로드 포트 기능을 정의하기 위한 것입니다.
이 문서는 혁신적인 솔루션을 제한하지 않고 로드 포트와 캐리어의 상호 운용성을 보장하기 위한 일련의 요구 사항을 정의하기 위한 것입니다.
이 문서는 450mm 캐리어의 외부 기능 및 치수를 지정합니다.
이 문서는 450mm 캐리어에서 웨이퍼를 지지하고 구속하기 위한 내부 배제 용적을 지정합니다.
이 문서는 450mm 캐리어를 지지하고 배치할 키네마틱 커플링 핀(KCP)의 중요한 치수와 위치를 지정합니다.
이 문서는 캐리어 치수에 대한 참조로 3개의 직교 참조 평면을 정의합니다.
SEMI E144 — 캐리어의 RFID 태그와 반도체 생산 및 자재 취급 장비의 RFID 판독기 사이의 RF 에어 인터페이스 사양
SEMI M74 — 450mm 직경의 기계적 취급 광택 웨이퍼 사양
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