SEMI E153 - AMHS SEM 사양(AMHS SEM) -

Abstract

이 표준은 자동 자재 취급 시스템 (AMHS)(AMHS SEM)에 대한 특정 장비 모델(SEM)을 설정합니다. 이 모델은 SEMI E30 기본 요구 사항 및 선택된 추가 기능 외에 구현될 장비 특성 및 동작으로 구성됩니다. 이 표준의 의도는 AMHS SEM 장비를 자동화된(예: 반도체 제조) 공장으로 통합하는 것을 용이하게 하는 것입니다. 이 문서는 공장 자동화 컨트롤러(호스트)에서 볼 수 있는 AMHS SEM 장비의 작동 모델을 정의하여 이를 수행합니다. 이 정의는 표준 호스트 인터페이스 및 장비 작동 동작(예: 제어, 상태 모델, 데이터 보고서 및 보고 수준)을 제공합니다. 트래픽 관리 특성(대기열), 캐리어 전송을 위한 병렬 인터페이스(SEMI E84), 전송 및 스토리지 시스템 컨트롤러 아키텍처, 전송 장치의 전달과 같은 몇 가지 주제는 이 표준의 범위 내에 있는 추가 활동이 필요합니다.

이 표준의 범위는 GEM 모델을 준수하는 SEMI 장비 통신 표준 2(SECS-II) 호스트가 인식하는 운송, 보관 또는 운송과 보관의 조합을 지원하는 자재 취급 장치의 사용 및 설명으로 제한됩니다. (§ 11에 명시된 대로). SECS 통신 링크를 통해 장비의 뷰를 정의합니다. 장비의 내부 작동을 정의하지 않습니다. 여기에는 이 클래스의 모든 장비에 대한 기반으로 특정 전송 명령 상태 모델과 TSSC(전송 및 저장 시스템 컨트롤러) 상태 모델이 포함됩니다.

이 문서는 GEM 기본 요구 사항 및 선택된 추가 기능(§ 11에 지정됨)이 AMHS SEM 장비에 구현되었다고 가정합니다. 상태 모델(TSSC, 전송 명령, 차량 및 캐리어 상태 모델), 수집 이벤트, 경보 문서화, 원격 명령, 데이터 항목 변수 및 자재 이동 영역에서 GEM 표준 요구 사항 및 기능을 확장합니다.

SEMI E5 — SEMI 장비 통신 표준 2 메시지 내용(SECS-II)
SEMI E30 — 제조 장비(GEM)의 통신 및 제어를 위한 일반 모델
SEMI E37 — 고속 SECS 메시지 서비스(HSMS) 일반 서비스
SEMI E84 — 향상된 캐리어 핸드오프 병렬 I/O 인터페이스 사양

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