SEMI E150 - 장비 교육 모범 사례 가이드 -

Abstract

알림: 이 표준 또는 안전 지침은 현재 상태를 유지하기 위한 조건이 충족되지 않았기 때문에 비활성 상태입니다. 비활성 표준 또는 안전 지침은 SEMI에서 제공되며 계속해서 사용할 수 있습니다.

 

알림: '참고:' 단락은 이 표준 또는 안전 지침의 공식 부분이 아니며 공식 표준 또는 안전 지침을 수정하거나 대체하기 위한 것이 아닙니다. 이들은 표준 또는 안전 가이드라인의 사용을 향상시키기 위해 글로벌 기술 위원회에서 제공했습니다.

 

이 표준의 목적은 성능 기반이 되도록 장비 교육을 개발하고 제공하기 위한 권장 사항을 제공하는 것입니다. 성능 기반 장비 교육(PBET)은 반도체 장비 소유자의 인력이 장비를 성공적으로 설치, 사용, 유지 관리 및 수리할 수 있는 가능성을 높입니다. 그렇게 함으로써 PBET은 장비 소유자가 SEMI E10에 정의된 메트릭을 기반으로 신뢰성, 가용성 및 유지 관리(RAM) 목표를 달성할 수 있는 능력을 향상시킵니다. 따라서 PBET은 SEMI E79 및 SEMI E35에 각각 정의된 메트릭을 기반으로 생산성을 높이고 비용을 줄이는 데 도움이 됩니다.

이 표준은 장비 교육을 개발해야 하는 모든 회사에 적용됩니다.

 

이 표준은 운영자, 유지보수 기술자 및 엔지니어, 서비스 직원, 애플리케이션/프로세스 기술자 및 엔지니어를 포함하여 장비를 사용하여 작업하는 모든 사람을 위한 교육에 적용됩니다.

 

이 표준은 결과 PBET 제품의 필수 특성뿐만 아니라 성능 기반 장비 교육을 개발하고 제공하는 프로세스에 대한 지침을 제공합니다.

 

이 표준은 CRI(Criterion-Referenced Instruction)의 사용을 배제하지 않습니다.

 　

참조된 SEMI 표준

SEMI E10 — 장비 신뢰성, 가용성, 유지보수성(RAM) 및 활용도의 정의 및 측정을 위한 사양
SEMI E35 — 반도체 제조 장비의 소유 비용(COO) 메트릭 계산 가이드
SEMI E79 — 장비 생산성의 정의 및 측정을 위한 사양
SEMI E149 — 제조 장비의 획득 및 사용을 위한 장비 공급업체 제공 문서 가이드

Refund Policy: Due to the nature of our products, SEMI has a no refund/no exchange policy. Please make sure that you have reviewed your order prior to finalizing your purchase. All sales are final.