SEMI E69 - 열 질량 흐름 컨트롤러의 재현성 및 제로 드리프트를 결정하기 위한 테스트 방법 -

Abstract

알림: 이 표준 또는 안전 지침은 현재 상태를 유지하기 위한 조건이 충족되지 않았기 때문에 비활성 상태입니다. 비활성 표준 또는 안전 지침은 SEMI에서 제공되며 계속해서 사용할 수 있습니다.

이 문서의 목적은 표준화된 열 질량 흐름의 재현성과 제로 드리프트를 정량화하는 방법 컨트롤러(MFC).

이 문서의 의도는 특정 테스트 프로그램을 제안하는 것이 아니라 이 방법에서 다루는 매개변수를 테스트할 때 사용할 테스트 방법을 지정하는 것입니다. 사용자는 이 문서를 사용하여 엄격하게 제어되는 일련의 테스트 조건에서 재현성 및 제로 드리프트와 같은 중요한 성능 특성을 확인할 수 있습니다.

이 방법에서 정확도 계산의 중요성은 MFC 사용자가 하나의 제조 공정에서 공정을 이전할 수 있도록 하는 것입니다. 도구를 다른 도구로 변환하고 단일 제조 도구 내에서 MFC를 교환하면서 동시에 프로세스 제어를 유지합니다.

이 문서는 열 MFC의 재현성과 제로 드리프트를 테스트하기 위한 조건과 절차를 설명합니다. 이 문서의 일반적인 특성으로 인해 모든 테스트 절차가 모든 유형의 MFC에 적용되는 것은 아닙니다.

이 문서는 제조업체와 사용자 간의 커뮤니케이션을 위한 공통 기반을 제공합니다.

참조 SEMI 표준 (별도 구매)

SEMI E28 — 질량 유량 컨트롤러의 압력 사양 가이드

개정 내역

SEMI E69-0298(재승인 0913)

SEMI E69-0298(재승인 0309)

SEMI E69-0298(재승인 1103)

SEMI E69-0298(최초 게시됨)

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