SEMI E83 - PGV 기계식 도킹 플랜지 사양 -

Abstract

알림: 이 표준 또는 안전 지침은 현재 상태를 유지하기 위한 조건이 충족되지 않았기 때문에 비활성 상태입니다. 비활성 표준 또는 안전 지침은 SEMI에서 제공되며 계속해서 사용할 수 있습니다.

이 사양은 개인 가이드 차량(PGV)과 로드 포트가 있는 장비 간의 일관된 인터페이스 기능을 촉진하기 위한 것입니다.

이 사양은 PGV에서 사용하는 도킹 플랜지의 고정(장비) 측면에 대한 기계적 표준을 정의합니다. 이 플랜지는 장비 로드 포트에 의해 정의된 볼륨 내에서 바닥에 장착 표준. 이러한 표준에는 다음이 포함되지만 이에 국한되지는 않습니다. SEMI E15.1 및 SEMI G82 로드 포트(300mm용) 및 SEMI E154(450mm용) 웨이퍼 캐리어).

참조 SEMI 표준 (별도 구매)

SEMI E15 — 공구 로드 포트 사양

SEMI E15.1 — 300mm 공구 로드 포트 사양

SEMI E64 — SEMI E15.1 도킹 인터페이스 포트에 대한 300mm 카트 사양

SEMI E154 — 450mm 로드 포트에 대한 기계적 인터페이스 사양

SEMI G82 — 백엔드 프로세스의 프레임 카세트용 300mm 로드 포트에 대한 임시 사양

SEMI G95 — 백엔드 프로세스에서 테이프 프레임 카세트용 450mm 로드 포트에 대한 기계적 인터페이스 사양

SEMI E162 — 450mm 전면 개방 배송 상자 로드 포트에 대한 기계적 인터페이스 사양

개정 내역

SEMI E83-0515(기술 개정)

SEMI E83-0714(기술 개정)

SEMI E83-0413(기술 개정)

SEMI E83-1106(기술 개정)

SEMI E83-1000(기술 개정판)

SEMI E83-0699(최초 발행)

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