SEMI E94 - 제어 작업 관리 사양 -

Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩242,000

Volume(s): Equipment Automation Software
Language: English
Type: Single Standards Download (.pdf)
SEMI Standards Copyright Policy/License Agreements

개정: SEMI E94-0314(0819 재승인) - 현재

개정

Abstract

이 사양은 높은 수준의 공장 자동화를 지원하는 공장에 서비스를 제공하는 장비에 대해 설명합니다. 이러한 서비스는 호스트가 생산 장비에서 재료의 처리 및 배치를 조정할 수 있는 기능을 제공합니다.

이 사양은 SEMI E30(GEM)을 준수하는 장비에 적용될 수 있습니다.

하위 표준:

SEMI E94.1-0819 - 제어 작업 관리(CJM)를 위한 SECS-II 프로토콜 사양

　

참조된 SEMI 표준

SEMI E30 — 제조 장비(GEM)의 통신 및 제어를 위한 일반 모델 사양

SEMI E39 — 개체 서비스 표준 사양: 개념, 동작 및 서비스

SEMI E40 — 처리 관리 사양

SEMI E87 — 캐리어 관리(CMS) 사양

SEMI E90 — 기판 추적 사양


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