SEMI E87 - 캐리어 관리(CMS) 사양 -

Abstract

이 사양은 자동화 및 수동 캐리어 전송을 조정, 실행 및 완료하는 동안 생산 장비와의 호스트 보기 통신에 대한 표준화된 동작을 제공합니다. 장비 및 내부 버퍼 공간(있는 경우).

이 사양은 SEMI E15.1, 300mm 로드 포트에 대한 호스트 및 장비 통신을 다룹니다.

이 사양은 내부 버퍼 장비 캐리어 전송뿐만 아니라 자동 및 수동 캐리어 전송에서 호스트의 지식과 역할을 용이하게 하는 표준을 정의합니다. 특히 이 사양은 다음에 대한 장비와의 호스트 상호 작용을 정의하는 상태 모델 및 시나리오를 제공합니다.

- AMHS 차량과 생산 장비 로드 포트 간의 캐리어 이송.

- 캐리어는 생산 장비 내부 버퍼 공간으로/에서 이동합니다.

- 장비 및 로드 포트 액세스 모드 전환.

- 캐리어에서 포트 연결을 로드합니다.

- CarrierID 확인 및 캐리어 슬롯 맵 확인.

하위 표준(포함)

SEMI E87.1-0921 — 캐리어 관리(CMS)용 SECS-II 프로토콜 사양

참조 SEMI 표준 (별도 구매)

SEMI E15.1 — 300mm 공구 로드 포트 사양

SEMI E30 — 제조 장비(GEM)의 통신 및 제어를 위한 일반 모델 사양

SEMI E39 — 개체 서비스(OSS)용 SECS-II 프로토콜 사양

SEMI E40 — 처리 관리 사양

SEMI E84 — 향상된 캐리어 핸드오프 병렬 I/O 인터페이스 사양

SEMI E90 — 기판 추적 사양

SEMI E94 — 제어 작업 관리 사양

개정 내역

SEMI E87-0921(기술 개정)

SEMI E87-0619E(편집 개정)

SEMI E87-0619(기술 개정)

SEMI E87-0718(기술 개정)

SEMI E87-1017(지정 업데이트)

SEMI E87-0312(기술 개정)

SEMI E87-0709(기술 개정)

SEMI E87-0707(기술 개정)

SEMI E87-0706E2(편집 개정)

SEMI E87-0706E(편집 개정판)

SEMI E87-0706(기술 개정)

SEMI E87-1105(기술 개정)

SEMI E87-0705(기술 개정)

SEMI E87-0304(기술 개정)

SEMI E87-0703(기술 개정)

SEMI E87-0303(기술 개정)

SEMI E87-0702(기술 개정)

SEMI E87-0302(기술 개정)

SEMI E87-1101(기술 개정)

SEMI E87-0701(기술 개정)

SEMI E87-0301(기술 개정)

SEMI E87-1000(기술 개정판)

SEMI E87-0600(기술 개정)

SEMI E87-0200(기술 개정)

SEMI E87-0999(최초 발행)

SEMI E87.1-0921(기술 개정)

SEMI E87.1-0619E(편집 개정)

SEMI E87.1-1017(기술 개정)

SEMI E87.1-0707(기술 개정)

SEMI E87.1-1105(기술 개정)

SEMI E87.1-0702(기술 개정)

SEMI E87.1-0302(기술 개정)

SEMI E87.1-1101(기술 개정)

SEMI E87.1-0701(기술 개정)

SEMI E87.1-0301(기술 개정)

SEMI E87.1-1000(기술 개정판)

SEMI E87.1-0200(최초 발행)

Refund Policy: Due to the nature of our products, SEMI has a no refund/no exchange policy. Please make sure that you have reviewed your order prior to finalizing your purchase. All sales are final.