SEMI E92 - 도구 상호 운용성 표준(볼트/라이트)에 대한 300mm 경량 및 소형 박스 오프너/로더 사양 -

Abstract

이 표준은 Physical Interfaces & Carriers Global Technical Committee에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 에디션은 2015년 2월 10일 글로벌 감사 및 검토 소위원회의 출판 승인을 받았습니다. 2015년 6월 www.semiviews.org 및 www.semi.org에서 볼 수 있습니다. 원래 1999년에 출판되었습니다. 이전에 출판된 2009년 7월.

Box Opener/Loader 상호 운용성을 위한 표준 제공 - 이 표준은 300mm 웨이퍼를 언로딩 및 로딩하기 위해 Box를 개봉하고 장비 Wafer Handler에 Box를 제시하는 구성요소(BOLTS/Light unit)와 제공하는 장비 및 그 기능의 상위 레벨 부분(그림 1 참조):

• 높은 수준의 호환성/상호 운용성,
• 높은 기계적 반복성으로 빠른 부착/탈착 능력,
• 가벼운 무게와
• 소형화.

높은 수준의 상호 호환성 및 상호 운용성을 제공하기 위해 이 표준은 인터페이스뿐만 아니라 상호 운용성에 영향을 미치는 일부 박스 오프너/로더의 기능을 지정합니다.

이 표준의 사용 — 이 표준에 의해 정의된 상호 운용성 사양은 BOLTS/Light 준수 박스 오프너/로더와 다음 간의 인터페이스 및 기능으로 사용하기 위한 것입니다.

• BOLTS-M 준수 로드포트 장치(SEMI E63 준수).
• 하나의 섀시에 4개의 박스 오프너/로더와 같은 통합 로드포트.
• 박스 오프너/로더 아래 공간을 활용하는 고밀도 포장 장비.

SEMI 표준 호환성 - 이 표준은 SEMI E15.1, SEMI E47.1, SEMI E1.9, SEMI E62, SEMI E63 및 SEMI E64를 포함한 300mm SEMI 표준과 호환됩니다.

Open Cassette Application — BOLTS/Light 장치는 SEMI E47.1 및 SEMI E62를 준수하는 상자를 처리하도록 구성될 수 있습니다.

상자 오프너 기능이 없지만 개방형 카세트(SEMI E1.9를 준수함)의 배치를 용이하게 하는 유사한 장치가 호환 가능하도록 설계될 수 있습니다.

캐리어 용량 — 이 표준은 13개 또는 25개의 캐리어 용량 박스 오프너/로더에 대한 하나의 인터페이스를 정의합니다.

이 표준에 명시된 인터페이스는 밀폐된 미니 환경을 갖춘 장비를 위해 설계되었지만 이에 제한되지 않습니다.

지정된 항목 — 이 표준은 다음을 포함하여 모듈성, 호환성 및 상호 운용성을 보장하면서 혁신에 대한 최소한의 제한을 두는 적절한 수준의 사양을 설정하기 위한 것입니다.

• 상호 운용성에 영향을 미치는 박스 오프너/로더 기능.
• 박스 오프너/로더와 장비 간의 기계적 인터페이스 기능.

참조된 SEMI 표준

SEMI E1.9 — 300mm 웨이퍼를 운반하고 보관하는 데 사용되는 카세트의 기계적 사양
SEMI E15 — 공구 로드 포트 사양
SEMI E15.1 — 300mm 공구 로드 포트 사양
SEMI E47.1 — 300mm 웨이퍼를 운송 및 보관하는 데 사용되는 박스 및 포드에 대한 임시 기계적 사양
SEMI E57 — 300mm 웨이퍼 캐리어를 정렬하고 지지하는 데 사용되는 키네마틱 커플링의 기계적 사양
SEMI E62 — 300mm FIMS(Front-Opening Interface Mechanical Standard) 사양
SEMI E63 — 공구 표준(BOLTS-M) 인터페이스에 대한 300mm 박스 오프너/로더에 대한 임시 기계 사양
SEMI E64 — SEMI E15.1 도킹 인터페이스 포트에 대한 300mm 카트 사양

Refund Policy: Due to the nature of our products, SEMI has a no refund/no exchange policy. Please make sure that you have reviewed your order prior to finalizing your purchase. All sales are final.