SEMI E99 - 캐리어 ID 리더/라이터 사양 -

Abstract

이 표준은 정보 및 제어 글로벌 기술 위원회에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 에디션은 2016년 12월 8일에 글로벌 감사 및 검토 소위원회의 출판 승인을 받았습니다. 2017년 3월 www.semiviews.org 및 www.semi.org에서 볼 수 있습니다. 2000년 2월에 처음 출판되었습니다. 이전에 출판된 2010년 7월.

Carrier ID 판독기/작성기 기능 표준 노력의 목적은 Carrier ID 판독기와 Carrier ID 판독기/작성기가 업스트림 컨트롤러에 제공하는 개념, 동작 및 서비스(기능)에 대한 공통 사양을 제공하는 것입니다. 표준 인터페이스는 캐리어 ID 판독기/작성기의 호환성을 높여 사용자와 장비 공급업체가 더 폭넓은 선택을 할 수 있도록 합니다.

 

캐리어 ID 판독기/작성기 인터페이스 표준은 업스트림 컨트롤러가 있는 일반 캐리어 ID 판독기/작성기 인터페이스에 대한 기능 요구 사항을 다룹니다.<br>이 사양에는 캐리어 ID 판독기와 캐리어 ID 판독기/작성기 모두에 필요한 동작 및 필수 통신이 포함됩니다. .<br>이 사양은 캐리어 ID 판독기 또는 판독기/작성기가 보낸 비동기 메시지를 요구하거나 정의하거나 금지하지 않습니다.

하위 기준

SEMI E99.1-0317 — 캐리어 ID 리더/라이터용 SECS-I 및 SECS-II 프로토콜 사양

참조된 SEMI 표준

SEMI E1.9 — 300mm 웨이퍼를 운반하고 보관하는 데 사용되는 카세트의 기계적 사양
SEMI E4 — SEMI 장비 통신 표준 1 메시지 전송(SECS-I)
SEMI E5 — SEMI 장비 통신 표준 2 메시지 내용(SECS-II)
SEMI E15 — 공구 로드 포트 사양
SEMI E30 — SEMI 장비(GEM)의 통신 및 제어를 위한 일반 모델
SEMI E39 — 개체 서비스 표준: 개념, 동작 및 서비스
SEMI E47.1 — 300mm 웨이퍼 운송 및 보관에 사용되는 FOUPS의 기계적 사양
SEMI E62 — 300mm FIMS(Front-Opening Interface Mechanical Standard) 사양
SEMI E87 — 캐리어 관리(CMS) 사양

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