SEMI E57 - 300mm 웨이퍼 캐리어를 정렬하고 지지하는 데 사용되는 키네마틱 커플링 사양 -

Name: E05700 - SEMI E57 - 300mm 웨이퍼 캐리어를 정렬하고 지지하는 데 사용되는 키네마틱 커플링 사양
Brand: semi.org
SKU: 3839
Price: 243000.0 KRW
Availability: InStock

Member Price: ₩113

Non-Member Price: ₩243,000

Volume(s): Equipment Automation Hardware
Language: English
Type: Single Standards Download (.pdf)
SEMI Standards Copyright Policy/License Agreements

개정:

SEMI E57-0616 - 현재

품목 옵션

Abstract

이 표준은 Physical Interfaces & Carriers Global Technical Committee에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 에디션은 2016년 5월 11일 글로벌 감사 및 검토 소위원회에서 출판 승인을 받았습니다. 2016년 6월 www.semiviews.org 및 www.semi.org에서 볼 수 있습니다. 원래 1996년에 출판되었습니다. 이전에 게시된 2010년 11월.

이 표준은 300mm 웨이퍼 캐리어(운송 카세트, 프로세스 카세트, 석영 보트, 포드, 로트 박스 및 배송 상자 포함)를 인체공학적으로 정렬하고 정밀하게 지원하는 데 사용되는 기계적 커플링을 지정합니다. 이러한 기구학적 결합은 다음을 포함하여 여러 인터페이스에서 사용할 수 있습니다.

상자 또는 카세트와 도구 로드 포트 또는 차량 네스트 사이,

운송 카세트와 상자 사이, 그리고

프로세스 카세트 또는 석영 보트와 프로세스 챔버 바닥 사이.

이 표준은 모든 기계적 인터페이스에서 모듈성과 호환성을 보장하면서 혁신에 대한 최소한의 제한을 두는 적절한 수준의 사양을 설정하기 위한 것입니다. 키네마틱 커플링의 아래쪽 절반만 지정되어 공급업체가 결합할 수 있는 웨이퍼 캐리어를 유연하게 설계할 수 있습니다.

참조된 SEMI 표준

SEMI E15 — 공구 로드 포트 사양
SEMI E19 — SMIF(표준 기계 인터페이스)
SEMI E19.4 - 200mm SMIF(표준 기계 인터페이스)

Interested in purchasing additional SEMI Standards?

Consider SEMIViews, an online portal with access to over 1000 Standards.

Refund Policy: Due to the nature of our products, SEMI has a no refund/no exchange policy. Please make sure that you have reviewed your order prior to finalizing your purchase. All sales are final.

SEMI E57 - 300mm 웨이퍼 캐리어를 정렬하고 지지하는 데 사용되는 키네마틱 커플링 사양 -

Customer Reviews

You May also Like