SEMI E58 - 자동 신뢰성, 가용성 및 유지보수 표준(ARAMS): 개념, 동작 및 서비스 -

Abstract

이 표준은 글로벌 정보 및 제어 위원회에서 기술적으로 승인했으며 북미 정보 및 제어 위원회의 직접적인 책임입니다. 현재 버전은 2000년 10월 19일 북미 지역 표준 위원회에서 승인되었습니다. 2001년 1월 www.semi.org에서 처음 사용 가능; 2001년 3월에 출판될 예정입니다. 원래 1997년 6월에 출판되었습니다.

 

알림: SEMI E58의 지정은 SEMI E58.1의 재승인을 반영하기 위해 0703 게시 주기 동안 업데이트되었습니다.

 

이 문서는 SEMI E10에 따라 장비 수준에서 SEMI E10 상태 변경을 구현하고 수집하기 위한 표준을 제공합니다. SEMI E10은 다양한 용어와 장비 상태를 정의하지만 자동화 장비에 적용하기 위해 특별히 작성되지는 않았습니다. 이 문서는 공식적인 상태 모델 방법론을 통해 이러한 장비 상태에 대한 일관된 해석을 제공하기 위한 것입니다. ARAMS는 반도체 공장 내에서 자동화 시스템의 통합을 지원하기 위해 개념, 동작 및 메시지 서비스를 정의합니다. 자동화 장비에서 SEMI E10 상태의 통합을 구현하려면 정의 및 요구 사항의 통합이 상세하고 정확하여 장비 공급업체 간에 해석이 일관되도록 해야 합니다. 이것은 장비 자체에 정보를 자동으로 유지할 수 있는 기회를 제공합니다. 장비 공급업체와 장비 사용자 모두 일관된 상태 모델을 적용하여 장비에서 SEMI E10 데이터 수집 자동화의 이점을 누릴 수 있습니다. SEMI E10은 특정 상태를 정의하지만 상태 간 전환을 다루지는 않습니다. ARAMS 표준은 자동화 장비에 의한 상태 전환의 트리거를 지정합니다. 이 문서에 설명된 SEMI E10의 확장은 자동화 장비에 의한 결정에만 적용됩니다.

 

하위 표준:

SEMI E58.1-0697(재승인 0703) - 자동 신뢰성, 가용성 및 유지보수 표준(ARAMS)을 위한 SECS-II 프로토콜: 개념, 동작 및 서비스

참조된 SEMI 표준

SEMI E10 — 장비 신뢰성, 가용성 및 유지보수성(RAM)의 정의 및 측정을 위한 표준
SEMI E30 — SEMI 장비(GEM)의 통신 및 제어를 위한 일반 모델
SEMI E38 - 클러스터 도구 모듈 통신(CTMC)
SEMI E39 — 개체 서비스 표준: 개념, 동작 및 서비스
SEMI E41 — 예외 관리(EM) 표준
SEMI E42 — 레시피 관리 표준: 개념, 동작 및 메시지 서비스
SEMI E53 — 이벤트 보고

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