SEMI E54.21 - Motionnet 통신용 센서 액츄에이터 네트워크 사양 -

Abstract

이 문서는 반도체 제조 장비에서 SEMI E54 장치 모델에 따라 작동하는 센서/액추에이터 네트워크(SAN)의 지능형 장치 간 통신을 가능하게 하기 위해 MOTIONNET® 프로토콜을 기반으로 통신 사양을 정의합니다.

　

이 문서는 SEMI E54 공통/특정 장치 모델 기반 센서/액추에이터 장치와의 상호 운용성을 제공합니다.

　

이 문서는 센서/액추에이터/컨트롤러 장치가 장비 제어 시스템의 일부로서 § 4에 참조된 MOTIONNET 공용 사양에 특정한 네트워크에서 상호 운용되는 방식을 지정합니다.

　

이 문서는 CDM(Common Device Model) 및 기존 SDM(Specific Device Model)을 포함하는 SEMI E54의 주요 부분과의 관계를 정의합니다. 이 문서는 MOTIONNET 공개 사양뿐만 아니라 CDM 및 하나 이상의 SDM과 함께 사용됩니다.

　

참조된 SEMI 표준

SEMI E54 — 센서/액추에이터 네트워크 사양
SEMI E54.1 — 센서/액추에이터 네트워크 공통 장치 모델 사양
SEMI E54.3 — 질량 흐름 장치용 센서/액추에이터 네트워크 특정 장치 모델 사양
SEMI E54.10 — 현장 입자 모니터 장치용 센서/액추에이터 네트워크 특정 장치 모델 사양
SEMI E54.11 — 엔드포인트 장치에 대한 센서/액추에이터 네트워크 특정 장치 모델 사양
SEMI E54.18 - 진공 펌프 장치용 센서/액추에이터 특정 장치 모델 사양

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