SEMI E63 - 공구 표준(BOLTS-M) 인터페이스에 대한 300mm 박스 오프너/로더 사양 -

Abstract

이 표준은 Physical Interfaces & Carriers Global Technical Committee에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 에디션은 2016년 5월 11일 글로벌 감사 및 검토 소위원회에서 출판 승인을 받았습니다. 2016년 6월 www.semiviews.org 및 www.semi.org에서 볼 수 있습니다. 원래 1997년에 출판되었습니다. 이전에 게시된 2010년 11월.

이 표준은 프로세스 또는 계측 도구의 주요 부분과 300mm 웨이퍼 언로드 및 로드를 위해 상자를 열고 도구 웨이퍼 핸들러에 상자를 제공하는 구성 요소 사이의 기계적 인터페이스의 도구 측면을 지정합니다. 상자 오프너/로더 장치에는 하나 이상의 로드 포트(SEMI E15.1을 준수함)와 빈 상자 또는 대기 장소(도구 처리량에 필요한 경우)를 위한 저장 용량이 포함됩니다. 상자 오프너/로더 장치는 상자(SEMI E47.1 및 SEMI E62 준수)를 처리할 뿐만 아니라 카세트(SEMI E1.9 준수)를 열도록 구성될 수 있습니다. 이 표준은 이러한 모든 캐리어와 모든 캐리어 용량(13개 및 25개 웨이퍼)에 대해 하나의 인터페이스를 정의합니다.

이 표준은 모든 기계적 인터페이스에서 모듈성과 호환성을 보장하면서 혁신에 대한 최소한의 제한을 두는 적절한 수준의 사양을 설정하기 위한 것입니다. 기계적 인터페이스만 지정됩니다. 재료 요구 사항이나 미세 오염 한계는 제공되지 않습니다. 이 표준에 지정된 인터페이스는 봉인된 미니 환경이 있는 도구용으로 설계되었지만 잘 정의된 자동화 인터페이스일 수도 있습니다. 이 인터페이스는 높은 반복성 또는 빠른 제거를 제공하기 위한 것이 아닙니다(둘 다 상자 오프너/로더 장치의 다른 커플링에서 제공할 수 있음). 이 사양은 로드 포트가 다른 하나 위에 쌓일 때도 적용되지 않습니다. 열린 카세트를 로드락 챔버에 직접 삽입하는 경우에는 이 사양이 적용되지 않습니다.

참조된 SEMI 표준

SEMI E1.9 — 300mm 웨이퍼를 운반하고 보관하는 데 사용되는 카세트의 기계적 사양
SEMI E15 — 공구 로드 포트 사양
SEMI E15.1 — 300mm 공구 로드 포트 사양
SEMI E19 — SMIF(표준 기계 인터페이스)
SEMI E47.1 — 300mm 웨이퍼 운송 및 보관에 사용되는 FOUPS의 기계적 사양
SEMI E57 — 300mm 웨이퍼 캐리어를 정렬하고 지지하는 데 사용되는 키네마틱 커플링 사양
SEMI E62 — 300mm FIMS(Front-Opening Interface Mechanical Standard) 사양

Refund Policy: Due to the nature of our products, SEMI has a no refund/no exchange policy. Please make sure that you have reviewed your order prior to finalizing your purchase. All sales are final.