SEMI E54.20 - EtherCAT용 센서/액추에이터 네트워크 통신 사양 -

Abstract

이 표준은 정보 및 제어 글로벌 기술 위원회에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 판은 2015년 12월 4일에 글로벌 감사 및 검토 소위원회의 출판 승인을 받았습니다. 2016년 3월 www.semiviews.org 및 www.semi.org에서 볼 수 있습니다. 원래 2007년 11월에 출판되었습니다. 이전에 2013년 7월에 게시되었습니다.

알림: 이 문서는 더 이상 SEMI E54 표준 세트와 함께 발행되지 않습니다. 별도로 발행되어 판매됩니다.

이 사양은 SEMI 센서/액추에이터 네트워크(SAN) 표준 제품군의 일부이며 EtherCAT 표준을 기반으로 특정 통신 프로토콜을 정의합니다. SEMI 센서/액추에이터 네트워크 표준 제품군 및 EtherCAT 표준과 함께 사용되는 이 네트워크 통신 표준(NCS)은 반도체 제조 장비에서 네트워크로 연결된 장치의 기성품 상호 운용성에 대한 산업별 솔루션을 제공하는 개방형 표준을 완전하고 명확하게 정의합니다.

EtherCAT은 EtherCAT 기술이 지원하는 제조, 프로세스 및 빌딩 자동화의 광범위한 애플리케이션을 위한 벤더 독립적인 개방형 필드 버스 표준입니다.

EtherCAT의 응용 모델은 CANopen의 모델과 호환됩니다 . 동일한 매핑 규칙이 적용됩니다.

EtherCAT은 장치 수준에서 자동화 제어 시스템과 분산 I/O 간의 고속 및 저렴한 연결에 최적화되어 있습니다.

이 문서는 SEMI E54.1을 준수하는 EtherCAT 사양을 기반으로 SAN 통신 표준을 지정합니다. 따라서 SEMI E39와 호환되는 방법으로 이 SAN을 통해 정보를 교환하기 위해 호환 지능형 장치가 지원해야 하는 프로토콜, 서비스 및 동작을 지정합니다.

SEMI 표준 SAN 공통 장치 모델(CDM) 사양 및 하나 이상의 SEMI 표준 특정 장치 모델(SDM) 사양(예: 질량 흐름 컨트롤러용)과 함께 이 네트워크 통신 표준(NCS)과 관련 EtherCAT 표준이 설명합니다. 네트워크에 있는 다양한 장치의 특징인 데이터 구조, 상호 작용 및 동작입니다. 이 복합 모델은 반도체 제조 장비의 지능형 센서, 액추에이터 및 컨트롤러 간의 통신을 위한 완전한 상호 운용성 표준을 형성합니다.

참조된 SEMI 표준

SEMI E39 — 개체 서비스 표준: 개념, 동작 및 서비스
SEMI E54.1 — 센서/액추에이터 네트워크 공통 장치 모델 사양

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