SEMI E56 - 열 질량 흐름 컨트롤러의 정확성, 선형성, 반복성, 단기 재현성, 히스테리시스 및 불감대 결정을 위한 테스트 방법 -

Abstract

이 표준은 Gases Global Technical Committee에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 에디션은 2016년 12월 8일에 글로벌 감사 및 검토 소위원회의 출판 승인을 받았습니다. 2017년 3월 www.semiviews.org 및 www.semi.org에서 볼 수 있습니다. 원래 2004년 11월에 출판되었습니다. 이전에 2015년 8월에 게시되었습니다.

이 문서의 목적은 열 질량 흐름 컨트롤러(MFC)의 정확도, 선형성, 반복성, 단기 재현성, 히스테리시스 및 불감대를 정량화하는 표준화된 방법을 제공하는 것입니다.

이 문서의 의도는 특정 테스트 프로그램을 제안하는 것이 아니라 이 방법에서 다루는 매개변수를 테스트할 때 사용할 테스트 방법을 지정하는 것입니다. 사용자는 이 문서를 사용하여 엄격하게 제어되는 일련의 테스트 조건에서 정확도, 정밀도, 바이어스, 반복성, 선형성, 단기 재현성 및 데드 밴드와 같은 중요한 성능 특성을 확인할 수 있습니다.

이 방법에서 정확도 계산의 중요성은 MFC 사용자가 하나의 제조 도구에서 다른 제조 도구로 프로세스를 이전하고 프로세스 제어를 유지하면서 단일 제조 도구 내에서 MFC를 교환할 수 있도록 하는 것입니다.

이 문서는 열 MFC의 정확도, 선형성, 반복성, 히스테리시스 및 데드 밴드를 테스트하기 위한 조건과 절차를 설명합니다. 이 문서의 일반적인 특성으로 인해 모든 테스트 절차가 모든 유형의 MFC에 적용되는 것은 아닙니다.

이 문서는 제조업체와 사용자 간의 커뮤니케이션을 위한 공통 기반을 제공했습니다.

참조된 SEMI 표준

SEMI E17 - 질량 흐름 컨트롤러 과도 특성 테스트 가이드

Refund Policy: Due to the nature of our products, SEMI has a no refund/no exchange policy. Please make sure that you have reviewed your order prior to finalizing your purchase. All sales are final.