SEMI E54.18 - 진공 펌프 장치용 센서/액추에이터 네트워크 특정 장치 모델 사양 -

Abstract

알림: 이 문서는 더 이상 SEMI E54 표준 세트와 함께 발행되지 않습니다. 별도로 발행되어 판매됩니다.

　

이 사양은 센서/액추에이터 네트워크에 대한 SEMI 표준의 구현을 지정하는 표준 제품군의 일부입니다. 이 사양의 특정 목적은 반도체 장비 센서/액추에이터 통신 네트워크의 모든 VPD(진공 펌프 장치)에 공통적인 장치 객체로 구성된 네트워크 독립적 애플리케이션 모델을 설명하는 것입니다.

　

진공 펌프 장치에 대한 이 사양은 센서/액추에이터 통신 네트워크에서 상호 운용이 가능하도록 VPD가 지원해야 하는 최소 속성, 서비스 및 동작을 구체적으로 다룹니다. 이 사양에서는 VPD를 각각 부스터가 있는 기계식 러핑 펌프, 터보 분자 펌프, 극저온 펌프 및 러핑 펌프를 포함하는 장치 클래스로 설명합니다. VPD에 대해 설명된 속성, 서비스 및 동작은 각 펌프 유형에 대해 필수 또는 선택 사항입니다. 추가 제조업체별 속성, 각 펌프 유형에 고유한 서비스 및 동작은 이 사양에 자세히 설명되어 있지 않습니다.

　

이 사양은 센서/액추에이터 통신 네트워크에서 높은 수준의 장치 상호 운용성을 보장하는 동시에 제품 차별화 및 기술 발전을 위한 유연성을 허용하기 위한 것입니다.

　

이 사양에 지정된 VPD 모델은 센서/액추에이터 네트워크 공통 장치 모델(CDM)과 함께 사용되어 네트워크 인터페이스에서 나타나는 진공 펌프를 완전히 설명합니다.

　

이 사양은 센서/액추에이터 네트워크 표준, 센서/액추에이터 네트워크 CDM 및 센서/액추에이터 네트워크 통신 사양과 함께 VPD에 대한 완전한 상호 운용성 사양을 구성합니다.

　

이 사양을 준수하기 위해 장치는 최소한 이 문서에서 식별된 필수 속성, 서비스 및 동작을 구현하고 지원해야 합니다. 선택적 특성, 서비스 및 동작에 대한 지원은 이 사양을 준수할 필요가 없습니다. 기능이 발전하고 더 많은 제조업체에서 채택함에 따라 추가 장치 상호 운용성을 촉진하기 위해 선택적 속성, 서비스 및 동작이 이 문서에 지정됩니다. 선택적 특성, 서비스 및 동작이 이 장치에 대해 구현되는 경우 이 문서에서 식별된 대로 구현되어야 합니다.

　

참조된 SEMI 표준

SEMI E39 — 개체 서비스 표준: 개념, 동작 및 서비스
SEMI E54 - 센서/액추에이터 네트워크 표준
SEMI E54.1 — 센서/액추에이터 네트워크 공통 장치 모델 표준

Refund Policy: Due to the nature of our products, SEMI has a no refund/no exchange policy. Please make sure that you have reviewed your order prior to finalizing your purchase. All sales are final.