SEMI E64 - SEMI E15.1 도킹 인터페이스 포트에 대한 300mm 카트 사양 -

Abstract

알림: 이 표준 또는 안전 지침은 현재 상태를 유지하기 위한 조건이 충족되지 않았기 때문에 비활성 상태입니다. 비활성 표준 또는 안전 지침은 SEMI에서 제공되며 계속해서 사용할 수 있습니다.

이 사양은 SEMI E15.1 호환 도구의 표준 위치와 캐리어 운송 카트용 도킹 인터페이스를 설치하는 데 사용되는 요구 사항을 정의합니다. 캐리어 운송 카트와 SEMI E15.1 준수 웨이퍼 프로세스 또는 검사 장비 사이의 일관된 인터페이스 위치를 촉진하기 위한 것입니다.

이 표준은 300mm SEMI E15.1 호환 도구에만 적용됩니다. 다른 도구에 대한 유사한 요구 사항은 여기에 정의되어 있지 않습니다.

참조 SEMI 표준 (별도 구매)

SEMI E15 — 공구 로드 포트 사양

SEMI E15.1 — 300mm 공구 로드 포트 사양

개정 내역

SEMI E64-1105(재승인 0512)

SEMI E64-1105(기술 개정)

SEMI E64-0600(재승인 0305)

SEMI E64-0600(기술 개정)

SEMI E64-0698(기술 개정)

SEMI E64-0298(기술 개정)

SEMI E64-0997(최초 발행)

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