SEMI E54.24 - 일반 장비 네트워크 센서(GENsen)의 센서/액추에이터 네트워크 특정 장치 모델 사양 -

Abstract

이 표준은 정보 및 제어 글로벌 기술 위원회에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 판은 2016년 7월 21일에 글로벌 감사 및 검토 소위원회의 출판 승인을 받았습니다. 2016년 11월에 www.semiviews.org 및 www.semi.org에서 볼 수 있습니다.

이 사양은 센서/액추에이터 네트워크에 대한 SEMI 표준의 구현을 지정하는 표준 제품군의 일부입니다. 이 사양의 특정 목적은 반도체 제조 장비에서 하나 이상의 현상을 측정하고 센서/액추에이터 통신 네트워크를 통해 통신하는 일반 센서 장치의 네트워크 독립적 애플리케이션 모델을 설명하는 것입니다. 종종 이러한 센서는 현재 장비 구성에서 제공되지 않는 기능을 제공할 수 있으므로 장비에 추가됩니다.

이 문서는 일반 장비 네트워크 센서의 특정 장치 구조 및 동작을 설명합니다. 여기에는 센서/액추에이터 통신 네트워크를 통해 통신하는 장비에 추가된 센서가 포함될 수 있습니다. 또한 센서/액추에이터 통신 네트워크를 통해 통신하는 장비의 기본 구성의 일부인 센서를 포함할 수 있습니다.

이 문서는 데이터 생성자로 간주되는 센서에만 적용됩니다. 센서 장치의 구성 또는 제어(예: 제3자에 의해 설명됨)는 이 표준의 범위를 벗어납니다.

이 문서는 다른 참조 문서에서 이미 정의된 용어를 정의하지 않습니다.

참조된 SEMI 표준

SEMI E39 — 개체 서비스 표준
SEMI E54 — 센서/액추에이터 네트워크 사양
SEMI E54.1 — 센서/액추에이터 네트워크 공통 장치 모델 사양
SEMI E90 — 기판 추적 사양

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