SEMI E54.17 - A-LINK용 센서/액추에이터 네트워크 사양 -

Abstract

이 표준은 정보 및 제어 글로벌 기술 위원회에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 에디션은 2018년 5월 22일 글로벌 감사 및 검토 소위원회에서 출판 승인을 받았습니다. 2018년 10월 www.semiviews.org 및 www.semi.org에서 제공됩니다. 원래 2005년 7월에 출판되었습니다. 이전에 2012년 8월에 게시되었습니다.

알림: 이 문서는 더 이상 SEMI E54 표준 세트와 함께 발행되지 않습니다. 별도로 발행되어 판매됩니다.

이 문서는 반도체 제조 장비에서 SEMI E54 장치 모델에 따라 작동하는 센서/액추에이터 네트워크(SAN)의 지능형 장치 간 통신을 가능하게 하기 위해 A-LINK 프로토콜 기반의 통신 사양을 정의합니다.

이 문서는 SEMI E54 공통/특정 장치 모델 기반 센서/액추에이터 장치와의 상호 운용성을 제공합니다.

이 문서는 센서/액추에이터/컨트롤러(SAC) 장치가 장비 제어 시스템의 일부로서 § 4에 참조된 A-LINK 공개 사양에 특정한 네트워크에서 상호 운용되는 방식을 지정합니다.

이 문서는 공통 장치 모델(CDM) 및 기존 특정 장치 모델(SDM)을 포함하는 SEMI E54의 주요 부분과의 관계를 정의합니다. 이 문서는 A-LINK 공개 사양뿐만 아니라 CDM 및 하나 이상의 SDM과 함께 사용됩니다.

참조된 SEMI 표준

SEMI E39 — 개체 서비스 표준: 개념, 동작 및 서비스
SEMI E54.1 — 센서/액추에이터 네트워크 공통 장치 모델 사양
SEMI E54.3 — 질량 흐름 장치용 센서/액추에이터 네트워크 특정 장치 모델 사양
SEMI E54.10 — 현장 입자 모니터 장치용 센서/액추에이터 네트워크 특정 장치 모델 사양
SEMI E54.11 — 엔드포인트 장치에 대한 센서/액추에이터 네트워크 특정 장치 모델 사양
SEMI E54.18 - 진공 펌프 장치용 센서/액추에이터 네트워크 특정 장치 모델 사양
SEMI E54.22 — 진공 압력 게이지용 센서/액추에이터 네트워크 특정 장치 모델 사양
SEMI E54.24 - 일반 장비 네트워크 센서의 센서/액추에이터 네트워크 특정 장치 모델 사양

Refund Policy: Due to the nature of our products, SEMI has a no refund/no exchange policy. Please make sure that you have reviewed your order prior to finalizing your purchase. All sales are final.