SEMI E41 - 예외 관리(EM) 표준

Abstract

대화형 예외 처리는 공장에서 자동 제어를 유지하면서 오류 복구 능력을 향상시킵니다. 이 표준은 장비 예외 처리와 관련하여 반도체 제조 환경 내의 통신 요구를 해결합니다. 이 표준은 장비의 비정상적인 상황에 대해 효과적인 보고 및 상호 작용을 위해 예외 에이전트가 제공하는 기능을 지정합니다. 예외 관리의 개념, 대화식 예외 처리와 관련된 장비의 동작 및 기능을 제공하는 데 필요한 메시징 서비스에 대해 설명합니다. 여기에 정의된 통신 서비스는 독립 시스템의 표준 기반 상호 운용성을 가능하게 합니다. 이러한 서비스의 존재를 가정할 수 있는 애플리케이션 소프트웨어를 개발하고 이를 제공하는 소프트웨어 제품을 개발할 수 있도록 허용해야 합니다. 자동화된 예외 관리를 구현하면 오류 복구 시간을 줄이고 많은 상황에서 자동 장비 제어에서 수동 장비 제어로 변경하는 것을 방지할 수 있습니다. 설명된 표준을 채택하면 규정을 준수하는 장비 구성 요소를 통합하는 데 필요한 노력이 크게 줄어듭니다. 규정 준수에는 특정 표준 서비스 세트가 필요합니다.

 

하위 표준:

SEMI E41.1-0996 — 예외 관리 표준에 대한 SECS-II 지원

참조된 SEMI 표준

SEMI E5 — SEMI 장비 통신 표준 2 메시지 내용(SECS-II)

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