SEMI E40 - 처리 관리 사양 -

Abstract

이 표준의 범위는 개별 처리 작업을 기반으로 하는 자동화된 재료 처리입니다. 클러스터 도구 내의 모듈에 대한 프로세스 관리에 필요한 기능을 제공합니다. 다른 다중 리소스 장비의 하위 시스템과 여러 유형의 장비에 대한 호스트 제어에 적용될 수 있습니다.

이 표준은 그룹 내 동일 자재 처리 및 동시 처리 작업에 대한 개별 작업 관리를 지원합니다. 독립 그룹. 재료가 다른 재료를 포함하는 경우(예: 캐리어 포함하는 웨이퍼), 처리는 다음 중 하나의 재료 측면에서 지정될 수 있습니다. 유형.

프로세스 단계 간의 제한된 피드포워드 및 피드백 제어를 위해 간단한 튜닝 메커니즘이 제공됩니다. 레시피 변수 매개변수를 활용하기 위한 방법이 정의됩니다. 이것은 모든 폐쇄 루프 제어 요구 사항을 충족하지 못할 것으로 예상됩니다. 나중에 조정하고 복잡한 데이터를 처리하기 위해 더 큰 유연성을 가진 다른 메커니즘이 예상됩니다.

이 표준은 처리를 위해 자료를 받거나 처리가 완료된 후 폐기하는 서비스를 제공하지 않습니다. 자재 이송의 자동화는 다른 경로를 통해 제공되는 것으로 가정합니다. 해당 SEMI 표준에 정의된 것과 같은 서비스.

이 표준은 개념과 동작에서 메시징 서비스에 이르는 솔루션을 제시합니다. 메시징 프로토콜을 정의하지 않습니다.

하위 표준 (포함)

SEMI E40.1-1218 — 처리 관리를 위한 SECS-II 프로토콜 사양

참조 SEMI 표준 (별도 구매)

SEMI E5 — SEMI 장비 통신 표준 2 메시지 내용(SECS-II) 사양

SEMI E30 — 제조 장비(GEM)의 통신 및 제어를 위한 일반 모델 사양

SEMI E39 — 개체 서비스 사양: 개념, 동작 및 서비스

SEMI E39.1 — 개체 서비스(OSS)용 SECS-II 프로토콜 사양

개정 내역

SEMI E40-1218(제목 변경)

SEMI E40-0813(지정 업데이트)

SEMI E40-0312(기술 개정)

SEMI E40-1111(지정 업데이트)

SEMI E40-0709(기술 개정)

SEMI E40-0309(기술 개정)

SEMI E40-1107(기술 개정)

SEMI E40-0307(기술 개정)

SEMI E40-1106(기술 개정)

SEMI E40-0705E(편집 개정판)

SEMI E40-0705(기술 개정)

SEMI E40-0304(기술 개정)

SEMI E40-0703(기술 개정)

SEMI E40-1102(기술 개정)

SEMI E40-0702(기술 개정)

SEMI E40-1101(기술 개정)

SEMI E40-0701(기술 개정)

SEMI E40-0301(기술 개정)

SEMI E40-1000(기술 개정판)

SEMI E40-0200(기술 개정)

SEMI E40-0999(기술 개정)

SEMI E40-96(기술 개정판)

SEMI E40-95(최초 발행)

SEMI E40.1-1218(제목 변경)

SEMI E40.1-0813(기술 개정)

SEMI E40.1-0312(기술 개정)

SEMI E40.1-1106(1111 재승인)

SEMI E40.1-1106(기술 개정)

SEMI E40.1-0705(기술 개정)

SEMI E40.1-0304(기술 개정)

SEMI E40.1-0304(기술 개정)

SEMI E40.1-1101(기술 개정)

SEMI E40.1-0701(기술 개정)

SEMI E40.1-1000(기술 개정판)

SEMI E40.1-0996(최초 발행)

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