SEMI E37 - 고속 SECS 메시지 서비스(HSMS) 일반 서비스 사양 -

Abstract

고속 SECS 메시지 서비스(HSMS)는 독립적인 제조업체가 서로에 대한 특정 지식 없이도 연결 및 상호 운용할 수 있는 구현을 생산할 수 있는 수단을 제공합니다.

HSMS는 고속 통신이 필요하거나 단순한 점대점 토폴로지가 불충분한 경우 SEMI E4(SECS-I)의 대안으로 사용됩니다. SEMI E4(SECS-I)는 HSMS의 이러한 속성 및 기타 속성이 필요하지 않은 애플리케이션에서 계속 사용할 수 있습니다.

HSMS는 OSI보다 TCP/IP가 선호되는 애플리케이션을 위한 SECS 메시지 서비스의 대안으로도 사용됩니다.

HSMS는 사용에 대한 세부 사항을 추가로 지정하거나 사용에 대한 제한을 부과하는 하위 표준에 의해 보완되도록 의도되었습니다. 특정 애플리케이션 도메인.

HSMS는 반도체 공장에서 컴퓨터 간의 메시지 교환에 적합한 통신 인터페이스를 정의합니다.

하위 표준(포함):

SEMI E37.1-0819 - 고속 SECS 메시지 서비스 단일 선택 세션 모드(HSMS-SS) 사양

SEMI E37.2-95(철회 1109) — 고속 SECS 메시지 서비스 일반 세션(HSMS-GS)

참조 SEMI 표준 (별도 구매)

SEMI E4 — SEMI 장비 통신 표준 1 메시지 전송 사양(SECS-I)

SEMI E5 — SEMI 장비 통신 표준 2 메시지 내용(SECS-II) 사양

개정 내역

SEMI E37-0222(기술 개정)

SEMI E37-0819(기술 개정)

SEMI E37-1018(기술 개정)

SEMI E37-0413(지정 업데이트)

SEMI E37-1109(지정 업데이트)

SEMI E37-0308(재승인 0708)

SEMI E37-0308(지정 업데이트)

SEMI E37-0413(지정 업데이트)

SEMI E37-0303(지정 업데이트)

SEMI E37-0702(기술 개정)

SEMI E37-0298(기술 개정)

SEMI E37-95(최초 발행)

SEMI E37.1-0819(기술 개정)

SEMI E37.1-0702(재승인 0413)

SEMI E37.1-0702(0308 재승인)

SEMI E37.1-0702(기술 개정)

SEMI E37.1-96E(편집 개정판)

SEMI E37.1-95(최초 발행)

SEMI E37.2-95(1109 철회)

SEMI E37.2-95(0303 재승인)

SEMI E37.2-95(최초 발행)

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