SEMI E28 - 질량 유량 컨트롤러의 압력 사양 가이드 -

Abstract

이 가이드의 목적은 질량 유량 컨트롤러(MFC)와 관련된 압력 매개변수를 설명하기 위한 통일된 세계적 수단을 확립하는 것입니다. 제조사와 사용자 간의 혼동과 오해를 방지하기 위한 것입니다.

이 가이드에는 반도체 산업에서 사용되는 MFC의 가스 압력을 설명하는 용어 정의가 포함되어 있습니다. SI 단위는 이 가이드의 참조 단위입니다.

참조 SEMI 표준 (별도 구매)

SEMI E12 — 질량 유량계 및 질량 유량 컨트롤러에 사용되는 표준화된 압력, 온도, 밀도 및 유량 단위에 대한 가이드

개정 내역

SEMI E28-0218(기술 개정)

SEMI E28-1110(기술 개정)

SEMI E28-92(재승인 0710)

SEMI E28-92(1104 재승인)

SEMI E28-92(0299 재승인)

SEMI E28-92(최초 발행)

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