SEMI E27 - 질량 유량 컨트롤러 및 질량 유량계 선형성 가이드 -

Abstract

이 표준의 목적은 질량 흐름 장치의 제조업체와 사용자 간의 혼동과 오해를 방지하기 위해 선형성에 대한 균일하고 세계적인 정의를 확립하는 것입니다. 선형성 사양은 출력이 알려진 지점 이외의 지점에서 MFC(질량 유량 컨트롤러)의 출력인 알려진 불확실성 수준에 대한 예측을 허용하는 데 사용됩니다.

범위는 MFC(통합 유량 변환기 및 제어 밸브가 있는 컨트롤러) 및 질량 유량계(MFM)(유량 변환기만 해당)의 선형성을 정의하는 것입니다. 터미널 기반 선형성은 MFC 및 MFM의 선형성을 설명하는 데 사용됩니다.

참조 SEMI 표준 (별도 구매)

없음.

개정 내역

SEMI E27-1017(기술 개정)

SEMI E27-0611(기술 개정)

SEMI E27-92(1104 재승인)

SEMI E27-92(0299 재승인)

SEMI E27-92(최초 발행)

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