SEMI E30.5 - 계측 특정 장비 모델(MSEM) 사양 -

Abstract

이 표준은 정보 및 제어 글로벌 기술 위원회에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 에디션은 2016년 8월 31일 글로벌 감사 및 검토 소위원회에서 출판 승인을 받았습니다. 2017년 2월 www.semiviews.org 및 www.semi.org에서 제공됩니다. 원래 2001년에 출판되었습니다. 이전에 출판된 2008년 3월.

참고: 이 제품의 전체 사양에는 SEMI E30의 모든 일반 요구 사항이 포함되어 있습니다.

이 문서는 계측 장비(MSEM)에 대한 특정 장비 모델(SEM)을 설정합니다. MSEM은 이 등급의 장비에 적용할 수 있는 장비 특성 및 동작으로 구성되며 SEMI E30 기본 요구 사항 및 추가 기능 외에 구현해야 합니다.

이 문서의 범위는 SEMI E30 모델을 준수하는 SEMI 장비 통신 표준 2 메시지 콘텐츠(SECS-II) 호스트가 인식하는 계측 장비의 동작을 정의하는 것으로 제한됩니다. SECS II 링크를 통해 장비의 뷰를 정의합니다. 장비의 내부 작동을 정의하지 않습니다. 여기에는 이 클래스의 모든 장비 동작에 대한 기반으로 특정 처리 상태 모델이 포함됩니다.

이 문서는 SEMI E30 기본 요구 사항과 이 문서의 SEMI E30 기능 섹션에 명시된 것을 제외한 모든 추가 기능이 MSEM 장비에서 구현되었다고 가정합니다. 이 문서는 처리 상태 모델, 수집 이벤트, 처리 프로그램 관리, 원격 명령, 데이터 항목 변수 및 좌표계 영역에서 SEMI E30 표준 요구 사항 및 기능을 확장합니다.

참조된 SEMI 표준

SEMI E5— SEMI 장비 통신 표준 2 메시지 내용(SECS-II)
SEMI E37.1 - 고속 SECS 메시지 서비스 단일 선택 세션 모드(HSMS-SS)
SEMI E58— ARAMS(Automated Reliability, Availability, and Maintenanceability Standard): 개념, 동작 및 서비스
SEMI M20 — 웨이퍼 좌표계 설정 실습
SEMI M21 — 데카르트 배열의 직사각형 요소에 주소 할당 가이드

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